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크랙-포토리소그래피 공정을 이용한 나노플루이딕 장치개발
대한기계학회 춘추학술대회
2015 .05
반도체 리소그래피 공정의 포토 마스크 AFM Repair 레시피 자동 생성을 위한 조건부 독립 오토 인코더 앙상블 알고리즘
대한산업공학회 추계학술대회 논문집
2024 .10
콘크리트 포장을 덧씌운 비절삭과 절삭 아스팔트 포장의 공용성 비교
한국도로학회논문집
2017 .01
레이저 포토리소그래피 기반 3차원 구조물 제작 및 의공학적 응용
기계저널
2017 .01
Overlay 임시전력 설계
대한전기학회 학술대회 논문집
2019 .04
디지털 홀로그래피를 이용한 포토리소그래피 공정 제품 패터닝의 폭과 단차 측정
비파괴검사학회지
2016 .02
초정밀 전자빔 리소그래피 오버레이 기반 3차원 메타물질 구현
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .11
딥러닝을 이용한 반도체 리소그래피 공정에서의 핫스팟 예측
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .11
전자빔 리소그래피 기반 3차원 나노구조 및 하이브리드 2차원 나노구조 가공
기계저널
2017 .01
광반응성 쿠마린기를 포함하는 수용성 포토레지스트 합성 및 포토리소그래피 평가
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2022 .10
Dedication이 있는 반도체 FAB을 위한 공정 분류와 디스패칭 규칙
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2016 .04
Thick Photo Resist 공정을 위한 Overlay Mark Design 최적화
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .05
최신 반도체 공정기술
전자공학회지
2015 .01
간섭리소그래피 공정을 통한 임의의 자유곡면 패터닝을 위한 오차 보정 모델링에 관한 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2017 .04
레이저 직접 리소그래피와 포토리소그래피를 활용한 고해상도 디스플레이 전극용 패턴 제작
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2024 .12
Lithography Malignment 계측 정합성 향상을 위한 Overlay Mark Pattern 최적화
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
첨단 리소그래피 칩 제조에서의 데이터 취득 솔루션
반도체네트워크
2025 .05
롤-포토 장치를 이용한 포토리소그래피 생산 효율 향상을 위한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
포토리소그래피 공정속도 향상 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2016 .10
반도체공정제어 현황 및 발전방향
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2018 .04
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