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Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 신경망 모델링
4. 결과 및 고찰
5. 결론
참고문헌
저자소개
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실리카 식각공정 기술동향
[ETRI] 전자통신동향분석
1999 .02
인공 신경망을 이용한 반도체 식각 공정 제어에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1998 .11
Fe:LiNbO3 광도파로의 제작
대한전자공학회 학술대회
1992 .06
이온 빔 보조 식각 방법을 이용한 GaAs / AlGaAs 저 손실 광도파로의 제작 ( Fabrication of Low propagation Loss Optical Waveguides using Ion Beam Assist Etching )
대한전자공학회 기타 간행물
1995 .01
이온 빔 보조 식각 방법을 이용한 GaAs / AlGaAs 저 손실 광도파로의 제작 ( Fabrication of Low propagation Loss optical Waveguides using Ion Beam Assist Etching )
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1995 .01
MMA/TFEMA 공중합체의 광학적 특성 및 실리카 광 도파로를 이용한 실리카/고분자 하이브리드 광도파로 소자 제작
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2002 .04
식각액에 따른 용융실리카의 레이저 습식 식각 특성 비교 연구
소성·가공
2004 .04
폴리머 재료특성 및 광도파로의 제작
한국통신학회 광전자공학 학술회의
1993 .01
폴리머 재료특성 및 광도파로의 제작
대한전자공학회 학술대회
1993 .01
플라즈마 식각 라디칼의 신경망 모델링
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2006 .10
광도파로 설계 ( ① Finite Element Method )
한국통신학회 워크샵
1994 .01
플라즈마 식각공정의 신경회로망 모델링 ( Neural Network Modeling of Plasma Etching Process )
대한전자공학회 학술대회
1994 .01
플라즈마 식각공정의 신경회로망 모델링
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
1994 .10
식각액에 따른 용융실리카의 레이저 습식 식각가공
한국소성가공학회 학술대회 논문집
2004 .05
신경회로망을 이용한 플라즈마 식각공정제어에 관한 연구
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
1995 .10
플라즈마 식각 공정을 위한 3차원 식각 시뮬레이터 개발
대한전자공학회 학술대회
1997 .11
플라즈마 식각 공정을 위한 3차원 식각 시뮬레이터 개발 ( Development of Three-Dimensional Etching Simulator for a Plasma Etching Process )
대한전자공학회 학술대회
1997 .11
광도파로 스위치 구조 조사
[ETRI] 전자통신동향분석
1995 .03
ICP를 이용한 광도파로용 불소 치환 폴리머 막의 식각 특성
한국통신학회 기타 간행물
2009 .12
자장 강화된 유도결합형 플라즈마 특성 및 광도파로형 산화막 식각에의 응용
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
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