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한국산학기술학회 한국산학기술학회 논문지 한국산학기술학회논문지 제11권 제4호
발행연도
2010.4
수록면
1,278 - 1,284 (7page)

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이 논문에서는 TFT-LCD의 제조공정에서 발생하는 mura를 효율적으로 검출하는 multi-point FFT를 기반으로 한, 2차원 FFT를 이용하는 새로운 전기적인 검출 방식을 제안한다. TFT-LCD의 mura 패턴은 어느 일정한 영역을 갖 고 있으므로 어느 한 라인에서 관찰하면 sin 파의 모양으로 관찰된다. Mura의 모양은 원, 가로 타원, 세로 타원으로 분류할 수 있으며 2-D FFT 변환을 통하여 일정한 문턱치와 비교하면 mura를 쉽게 검출할 수 있음을 보인다. 실험영 상의 simulation을 통하여 제안 알고리즘이 다양한 크기의 mura 패턴을 효과적으로 검출할 수 있음을 보였다. 따라서 제안된 알고리즘은 TFT-LCD mura의 자동 검사 시스템에 이용될 수 있을 것이다.

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