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한국산학기술학회 한국산학기술학회 논문지 한국산학기술학회논문지 제10권 제3호
발행연도
2009.3
수록면
529 - 534 (6page)

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이 논문에서는 TFT-LCD의 제조공정에서 생기는 결함(Mura)을 효율적으로 검출할 수 있는 새로운 전기적인 검출방식을 제안한다. TFT-LCD의 결함은 영역을 갖고 있으므로 어느 한 라인에서는 sin 파의 모양으로 관찰된다. 따라서 FFT 변환을 통하여 문턱치와 비교하면 쉽게 결함이 검출될 수 있음을 보였다. 여러 가지 크기의 결함 패턴이 발생한 경우에도 Multi-point FFT 변환을 수행하면 크기가 일치하는 FFT 변환으로 효과적으로 검출됨을 보였다. 따라서 이 논문에서 제안된 알고리즘은 TFT-LCD의 자동 결함 검출 장치에 다양하게 이용될 수 있을 것이다.

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