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저자정보
김민 (충남대학교) 김창현 (한국기계연구원) 하창완 (한국기계연구원) 임재원 (한국기계연구원) 원문철 (충남대학교)
저널정보
한국철도학회 한국철도학회 학술발표대회논문집 한국철도학회 2017년 창립20주년 춘계학술대회 [초록집]
발행연도
2017.5
수록면
602 - 606 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2018

초정밀 자기부상 물류 이송장치의 제어 및 공극 센서 오프셋 추정 연구
김민 ,  김창현 ,  하창완 외 1명 전기학회논문지 2018.01 학술저널

2017

초정밀 자기부상 이송장치의 정밀 제어를 위한 공극 센서 설치 오차 추종 연구
김민 ,  김창현 ,  하창완 외 2명 한국철도학회 학술발표대회논문집 2017.05 학술대회자료
초정밀 자기부상 물류 이송장치의 공극 센서 오프셋 추정 연구
김민 2017.01 학위논문

2016

초정밀 자기부상 물류 이송장치를 위한 부상력 제어기
김민 ,  김창현 ,  하창완 외 2명 한국철도학회 학술발표대회논문집 2016.10 학술대회자료

초록· 키워드

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고청정 환경에서의 저진동, 저소음의 특징으로 동작하는 초정밀 자기부상 이송장치는 디스플레이 공정 산업 등에 활용한다. 레일 상단에는 부상 전자석과 공극 센서가 부착되어 있으며, 실시간으로 측정된 공극 데이터를 사용하여 캐리어와 레일 간의 간격을 일정하게 유지하는 것이 핵심이다. 그러나 공극 센서는 설치 과정에서 미세한 오차가 발생하여 부상력의 정밀 제어 성능 저감에 원인이 된다. 따라서 본 논문에서는 공극 센서의 정밀한 데이터를 위해 설치 오차를 추종하고, 추종 결과를 적용하여 센서 오차가 부상 제어 성능에 미치는 영향을 확인한다.
#Magnetic levitation transport systesm #Maglev #OLED evaporation process #Gap sensor #자기부상 이송장치 #자기부상 #OLED 증착 공정 #공극 센서

목차

Abstract
초록
1. 서론
2. 본론
3. 결론
참고문헌

참고문헌 (0)

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OLED 디스플레이 증착공정을 위한 초정밀 자기부상 물류이송장비 부상제어 성능향상을 위한 하드웨어 구성
김재영 ,  하창완 ,  김창현 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2019 .11
캐리어를 이용한 낱장 웨이퍼이송시스템에 관한 연구
고현준 ,  이동헌 ,  김종형 대한기계학회 춘추학술대회 2008 .06

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