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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김민 (보쉬전장) 김창현 (한국기계연구원) 하창완 (한국기계연구원) 원문철 (충남대학교)
저널정보
대한전기학회 전기학회논문지 전기학회논문지 제67권 제1호
발행연도
2018.1
수록면
87 - 95 (9page)

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The high-precision magnetic levitation transport system is a transport device applying the principle of magnetic levitation. So it is preferable for manufactory process of semiconductor and display industries. In this system, the gap sensors are arranged discontinuously and turned on or off when the tray moves in the running direction. Therefore, precise gap data is important for precise control of the carrier. However, a slight error occurs in the process of installing the gap sensor. So, in this paper, we introduce the high-precision magnetic levitation transport system for OLED evaporation process. Also, we propose a strategy for stable flight control and an offset algorithm for tracking installation errors transport system. The performances of the proposed algorithm are validated through simulation.

목차

Abstract
1. 서론
2. 초정밀 자기부상 물류 이송장치
3. 오프셋(offset) 추정 알고리즘
4. 시뮬레이션
5. 결론
References

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