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대면적 스퍼터링 박막 제작을 위한 캐소드 설계 및 제작
반도체디스플레이기술학회지
2019 .01
보론 스퍼터링과 Ar과 N2 가스를 사용한 반응성 스퍼터링 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .11
Hollow-Cathode-Plasma을 이용한 원자층 증착 장치 설계 및 제작
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .11
반도체용 마그네트론 스퍼터링 음극 전산 모사 소프트웨어 개발
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .11
스퍼터링 장치의 전극 구성에 따른 박막 특성 분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
스퍼터링을 이용한 세라믹 코팅 볼트의 특성 연구
한국소성가공학회 학술대회 논문집
2017 .10
Fabrication of Platinum-Samarium Doped Ceria Composite Cathode Using Sputtering Technique
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2023 .11
스퍼터링 공정의 아크 저감방법
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
A trade-off-free fluorosulfate-based electrolyte additive developed for lithium-ion batteries using Ultra Ni-rich (90%) cathode materials
대한전자공학회 학술대회
2022 .11
Hollow cathode plasma 기반 원자층 증착법 공정온도에 따른 TiN 박막 특성 비교
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2022 .06
RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착된 CuS 박막의 구조적 및 광학적 특성에 대한 스퍼터링 전력의 영향
Current Photovoltaic Research
2020 .03
Fabrication of Cathode Functional Layer to Improve the Performance of Low-temperature Solid Oxide Fuel Cell via DC Reactive Sputtering
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .11
Gas Flow Sputtering을 이용한 나노 다공성 은 박막의 표면증강라만산란 특성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2020 .12
선형이온소스 및 플라즈마 보조 마그네트론 스퍼터링을 통한 고품위 Cu 박막 형성 기술
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .05
우주 플라즈마 추력기를 위한 저전류 할로우 열음극 개발
한국추진공학회 학술대회논문집
2023 .11
DC코로나 방전에 의한 Hollow 침 대 평판형 오존발생특성 연구
한국조명·전기설비학회 학술대회논문집
2015 .05
스퍼터링 방식으로 증착된 Cu₂SnS₃ 박막의 열처리 효과
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2017 .05
플라즈마 스퍼터링 공정용 DC 전원장치에 관한 연구
전력전자학회 학술대회 논문집
2019 .07
Effect of DC Sputtering Power on Co-Sputtered Ceria-based CERMET Anode Nanostructure for Low Temperature Solid Oxide Fuel Cell
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
직류 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 은 박막에서의 산소 검출에 관한 연구
비파괴검사학회지
2018 .10
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