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한국전기전자학회 전기전자학회논문지 전기전자학회논문지 제13권 제4호
발행연도
2009.12
수록면
37 - 42 (6page)

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본 연구에서는 졸겔법으로 ZnO, 수열합성법으로 나노분말을 제조하고 이들 나노분말에 Pd, Ru 등의 촉매를 첨가하였다. MEMS 기술로 제작된 히터 및 전극 구조 위에 나노 감지 분말을 도포하여 CO and 가스 센서를 제작하였다. 0.1 wt% Pd 도핑된 가스센서와 Ru 도핑된 ZnO 가스 센서는 각각 CO 30 ppm, 1 ppm의 낮은 농도에서도 높은 감지 특성을 보였다.
#CO #MEMS #NOx #SnO₂ #ZnO

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1. [학술지(정기간행물)] - H. Nakagawa / 2000 / An automated car ventilation system, thin film gas sensor / Sens. Actuators B 65 : 133 ~ 137 google schola 2. [학술지(정기간행물)] - N, Barsan / 2001 / Conduction model of metal oxide gas sensors / J. Electroceramics 7 : 143 ~ google schola 3. [학술지(정기간행물)] - G. Sberveglieri / 1995 / Recent developments in semiconducting thin film gas sensors / Sens. Actuators B 23 : 103 ~ google schola 4. [학술지(정기간행물)] - A. Komakov / 2003 / Detecion CO and O2 using tin oxide nanowires sensors / Adv. Mater : 15 ~ google schola 5. [학술지(정기간행물)] - C.N. Xu / 1991 / Grain size effects on gas sensitivity of porous SnO2-based elements / Sens. Actuator B 3 : 147 ~ 155 google schola

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