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대한설비공학회 대한설비공학회 강연회 및 기타간행물 대한설비공학회 2001년도 자동제어부문 학술강연회
발행연도
2001.11
수록면
221 - 235 (15page)

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목차

1. 머리말

2. MEMS 가공 기술 소개

3. MEMS 기술의 센서 응용

4. MEMS 기술의 응용

5. KIST의 MEMS를 이용한 적외선센서 응용

6. 국내 MEMS 현황 및 맺음말

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