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이대성 (전자부품연구원) 김원효 (전자부품연구원) 정석원 (전자부품연구원) 조남규 (전자부품연구원) 성우경 (전자부품연구원) 박효덕 (전자부품연구원)
저널정보
대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 2005년 추계종합학술대회
발행연도
2005.11
수록면
147 - 150 (4page)

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Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. MEMS 스위치 설계
Ⅲ. 제작 결과 및 토의
Ⅳ. 결론
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