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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제24권 제7호
발행연도
2011.1
수록면
594 - 598 (5page)

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온벽레이저증착 공정법으로 pure ZnO와 1GZO 나노선을 성장시켰다. FE-SEM으로 나노선이 잘 성장된 것을 확인할 수 있었고 성장된 나노선들로 에탄올 가스센서를 제작하였다. 가스센서를 300℃에서 에탄올 가스 1 ppm을 측정하였다. Pure ZnO의 나노선으로 제작된 가스센서가 1 wt%의 Ga을 도핑한 ZnO 나노선보다 약 15% 정도 우수한 감응도를 보였다. Ga을 도핑함으로써 감도가 좋아질 것이라 예상되었으나 ZnO에 3족인 Ga이 도핑이 되면 전자 3개를 얻기 때문에 전도도가 증가한다. 전도도가 좋아진다는 의미는 저항이 낮아진다는 것인데 가스센서의 감응도를 얻는 식에 의해서 저항이 낮아질수록 감응도가 떨어지는 것이다. ZnO 나노선 및 1GZO 나노선을 이용하여 안정적인 에탄올 가스의 감지가 가능함을 알 수 있었고 도핑물질에 따라 다른 가스들도 감지할 수 있을 것으로 기대된다.
#Hot walled pulsed laser deposition #ZnO #Ga-doped ZnO #Nanowire #Gas sensor

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