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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
신현표 (동양미래대학교) 문준희 (유한대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Vol.33 No.7
발행연도
2016.7
수록면
579 - 586 (8page)

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This paper describes kinematic analysis of a 6-degrees-of-freedom (DOF) ultra-precision positioning stage based on a flexure hinge. The stage is designed for processes which require ultra-precision and high load capacities, e.g. wafer-level precision bonding/assembly. During the initial design process, inverse and forward kinematic analyses were performed to actuate the precision positioning stage and to calculate workspace. A two-step procedure was used for inverse kinematic analysis. The first step involved calculating the amount of actuation of the horizontal actuation units. The second step involved calculating the amount of actuation of the vertical actuation unit, given the the results of the first step, by including a lever hinge mechanism adopted for motion amplification. Forward kinematic analysis was performed by defining six distance relationships between hinge positions for in-plane and out-of-plane motion. Finally, the result of a circular path actuation test with respect to the x-y, y-z, and x-z planes is presented.
#Flexure hinge (플렉셔 힌지) #Parallel mechanism (병렬 기구) #Inverse kinematics (역기구학) #Forward kinematics (정기구학) #Positioning stage (위치 결정 스테이지)

목차

1. 서론
2. 6-자유도 초정밀 위치 결정 스테이지의 구성 및 기구 구조
3. 역기구학 해석
4. 정기구학 해석
5. 스테이지 구동 테스트
6. 결론
REFERENCES

참고문헌 (10)

참고문헌 신청
Yang, R. / 1996 / Design and Characterization of a Low-Profile Micropositioning Stage / Precision Engineering 18(1):20~29 google schola Chang, S. H. / 1998 / A Precision Piezodriven Micropositioner Mechanism with Large Travel Range / Review of Scientific Instruments 69(4):1785~1791 google schola Yao, Q. / 2007 / Design, Analysis, Fabrication and Testing of a Parallel-Kinematic Micropositioning XY Stage / International Journal of Machine Tools and Manufacture 47(6):946~961 google schola Chen, M.-Y. / 2011 / Design and Implementation of a New Six-DOF Maglev Positioner With a Fluid Bearing / IEEE/ASME Transactions Mechatronics 16(3):449~458 google schola Kim, H. S. / 2010 / Active Vibration Control Using a Novel Three-DOF Precision Micro-Stage / Smart Materials Structures 19(5) google schola

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