칠러 성능이 연마 온도 안정성에 미치는 영향

박인호 ,  정해도 ,  서헌덕 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2016 .12

CMP 장비의 초 고압(800g/cm²) 조건에서 구조 특성에 관한 연구

김요한 ,  이창우

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

Cu CMP에서 슬러리 온도가 연마율에 미치는 영향

박인호 ,  이다솔 ,  이종우 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

고분자 결함 구조에 따른 CMP pad의 표면 형상 및 CMP 성능 변화 연구

서장원 ,  윤성훈 ,  정은선 외 2명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2019 .04

Effects of Temperature on Removal Rate in Cu CMP

In-Ho Pa ,  k ,  Da-Sol Lee 외 2명

한국기계가공학회지

2018 .12

연마온도 제어에 따른 패드 물성 변화가 Cu CMP 성능에 미치는 영향

이다솔 ,  정해도 ,  이현섭 외 1명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2018 .10

슬러리와 산소 가스의 비율 조절을 통한 실시간 CMP 온도제어

이다솔 ,  이기훈 ,  정선호 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .10

평탄화 시간 예측을 위한 온도 함수를 고려한 구리 CMP 모델링

신영일 ,  정승훈 ,  정종민 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2024 .06

CMP 에서 스프레이 다중 노즐 시스템을 통한 패드의 균일한 온도 분포의 효과

이기훈 ,  이다솔 ,  정선호 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .05

Advances in CMP Technology over the Next Decade

Hong Jin Kim

한국트라이볼로지학회 학술대회

2024 .10

신경망을 이용한 SiO₂ CMP의 재료제거율 예측

하인철 ,  김승우 ,  이승민 외 3명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2024 .10

CMP 패드의 홈의 크기가 점탄성에 미치는 영향

정경우 ,  정선호 ,  이동환 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .10

착화제가 Cu CMP 에 미치는 영향

장수천 ,  정해도 ,  박인호

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

LED 반사판용 알루미늄의 CMP에 관한 연구

정진엽 ,  정해도 ,  이현섭 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2016 .05

Table Unit 회전에 의한 CMP System 변형 해석

김요한 ,  이창우

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .05

산화막 CMP 공정 중 패드 그루브에 기반한 슬러리 유동과 온도 제어에 관한 연구

이정렬 ,  조영광 ,  서현민 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2021 .05

CMP 후 세정에서 기능수의 효과

남유나 ,  Pengzhan Liu ,  김응철 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2021 .11

구리 CMP 에서 슬러리의 다중 분사를 통한 온도 프로파일 제어

이기훈 ,  이다솔 ,  정선호 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .10

비선형 유한요소해석법을 이용한 CMP 멤브레인의 해석적 연구

김도연 ,  이태경 ,  강필식 외 1명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2020 .11

CMP의 화학 기계적 균형

정해도

기계저널

2016 .07