PZT 나노 스테이지를 이용한 광센서의 위치결정

차영엽

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자료유형: 학술저널

저자정보: 차영엽 (원광대학교)

저널정보: 제어로봇시스템학회 제어로봇시스템학회 논문지 제어로봇시스템학회 논문지 제22권 제4호

발행연도: 2016.4

수록면: 271 - 275 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2016

PZT 나노 스테이지를 이용한 광센서의 위치결정

차영엽 제어로봇시스템학회 논문지 2016.04 학술저널

PZT 스테이지를 이용한 EE-SX671 광센서의 위치결정

차영엽 제어로봇시스템학회 각 지부별 자료집 2016.01 학술대회자료

2013

커패시티브 센서를 이용한 광 센서를 탑재한 X-Y 스테이지에서 위치결정

차영엽 제어로봇시스템학회 각 지부별 자료집 2013.12 학술대회자료

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For machining systems like the motor driven linear stage which have high precision positioning with a long stroke, it is necessary to examine the repeatability of the reference position decision. Though piezo (PZT) actuator driven linear stages have high precision feed drivers and a short stroke, they have some limitations for reference position decisions if they have not been equipped with an accurate home sensor. This study was performed to examine the repeatability for home position decision of a EE-SX671 photo sensor as a home switch by using piezo actuator driven linear stages and capacitance probe.

#photomicrosensor #position decision

참고문헌 (11)

참고문헌 신청

J. S. Chen, K. C. Chen, Z. C. Lai, and Y. K, Huang, “Friction characterization and compensation of a linear motor rolling guide stage,” International Journal of Machine Tools and Manufacture, vol. 43, no. 9, pp. 905-915, Jul. 2003.

C. Hsieh and Y. C. Pan, “Dynamic behavior and modeling of the pre-sliding static friction,” Wear, vol. 242, no. 1-2, pp. 1-17, Jul. 2000.

Omron Korea Homepage, http://www.ia.omron.co.k. H. B. Lim, “Sensor technology,” The Electric Parts & Components Monthly, no. 8, pp. 94-100, 2003.

S. H. Seo, “Photo sensor technology,” The Electric Parts & Components Monthly, no. 12, pp. 12-24, 1995.

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차영엽

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