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학술저널
저자정보
최재성 (부산대학교) 추이쉰 (부산대학교) 안중환 (부산대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Vol.35 No.1
발행연도
2018.1
수록면
103 - 109 (7page)
DOI
10.7736/KSPE.2018.35.1.103

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The goal of this study is to develop a fast, controllable PZT-driven depth adjustment device with a flexure hinge. The device can be used to trace rapidly a flat or curved surface with several hundreds of micrometers’ variance in height. The lever type flexure hinge designed for a magnification ratio of 10 and no other axes motion has been confirmed through FEM analysis; the actual performance has been verified through static/dynamic experiments. A micro-depth control system, which is comprised of a DAQ with a LabVIEW, PZT amplifier, PZT actuator, flexure hinge, and laser displacement sensor, is implemented, and its static/dynamic characteristics of depth control is investigated with a PID gain tuned control algorithm on LabVIEW. It has been verified that the developed device can trace a micro-depth command as fast as 0.5 s to get an accurate position of 0.1 μm, even under a load of 1 N.
#PZT actuator (압전구동기) #Flexure hinge (유연힌지) #Micro-depth (미세깊이) #PID control (PID 제어) #Gain tuning (게인 조정)

목차

1. 서론
2. 지렛대 유연힌지(Lever Type Flexure Hinge) 설계 및 제작
3. PZT 구동 미세변위 기구의 특성 실험
4. 미세변위 기구의 제어성능 평가
5. 결론
REFERENCES

참고문헌 (13)

참고문헌 신청
Jeong, J.-I. and Yang, J.-H., “Trend and Prospect of Thin Film Processing Technology,” Journal of the Korean Magnetics Society, Vol. 21, No. 5, pp. 185-192, 2011. Kim, Y.-S., Kim, J.-I., and Kim, I.-S., “Modeling and Motion Control of the Precision Positioning Stage with Flexible Hinge Mechanism,” Journal of the Korean Society of Manufacturing Process Engineers, Vol. 9, No. 6, pp. 51-58, 2010. Choi, H., Lee, J., Jung, M., Yun, D., Han, C., et al., “Review of a High Precision Actuator Mechanism Using PZT,” Proc. of the Korean Society of Machine Tool Engineers Spring Conference, pp. 524-529, 2004. Choi, J. P., Lee, K. H., Lee, H. J., Lee, N. G., and Kim, B. H., “Development of Micro Punching System Using PZT Actuator and Displacement Amplification Device,” Proc. of the Korean Society of Machine Tool Engineers Spring Conference, pp. 268- 272, 2007. Ryu, S.-O., Kim, H.-Y., and Ahn, J.-H., “Characteristics of a PZT-Driven Micro Depth Adjustment Device for Cutting Coated Film,” Journal of the Korean Society of Manufacturing Technology Engineers, Vol. 23, No. 6, pp. 630-635, 2014.

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