Development of a Test Equipment for Diaphragm Deflection Using a PZT Actuator

윤대중; 안중환

doi:10.7736/KSPE.2017.34.12.927

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자료유형: 학술저널

저자정보: 윤대중 (부산대학교) 안중환 (부산대학교)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Vol.34 No.12

발행연도: 2017.12

수록면: 927 - 932 (6page)

DOI: 10.7736/KSPE.2017.34.12.927

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The aim of this paper is the development of a PZT-driven apparatus for testing the force-deflection behavior of thin 0.1/0.5-㎜-thick plates. Thin plates are widely used as the diaphragm of pressure sensors, as they are much stronger than the thin films with thicknesses of up to several tens of ? that are used in MEMS applications. Therefore, a proper PZT actuator should be selected to acquire the static- and dynamic-material properties of these thin plates to perform testing in terms of the force and frequency responses. Based on the investigation of the PZT characteristics, a test apparatus is developed. It is verified for the Hastelloy C-276 that the static-force deflection, acquired through sample testing, is compatible with the theoretical one; moreover, the dynamic test is available up to approximately 20 ㎐.

#PZT actuator (압전 구동기) #Diaphragm (격판) #Deflection (변형) #Dynamic material testing (동적 재료시험)

참고문헌 (12)

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Hommel, M., Kraft O., Baker, S. P., and Arzt, E., “Micro-Tensile and Fatigue Testing of Copper Thin Films on Substrates,” MRS Online Proceedings Library Archive, No. 546, p. 133, 1988. Lee, J. P., Lee, H. J., Hwang, J. H., Lee, N. K., and Bae, J. S., “A Study on a Micro Dynamic Tester Development for a Micro Property Measurement of a Micro Metal Specimen,” Proc. of the Korean Society for Noise Vibration Engineering, No. 11, pp. 166-171, 2006. Ahn, H. G., Lee, H. J., and Oh, C. S., “Development and Application of Material Testers for the Thin Film,” J. Korean Soc. Precis. Eng., Vol. 23, No. 3, pp. 163-170, 2006. Kwon, Y. H., Kang, D. I., and Joo, J. W., “Calculation of Rated Output in Diaphragm Type Miniature Load Cell,” J. Korean Soc. Precis. Eng., Vol. 7, No. 2, pp. 58-64, 1990. Kim, C. Y. and Sharpe, W. N., “Development of a Fatigue Testing System for Micro-Specimens,” Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A, Vol. 34, No. 9, pp. 1201-1207, 2010.

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