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학술대회자료
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서용범 (조선대학교) 주기남 (조선대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2015년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2015.12
수록면
33 - 33 (1page)

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2016

삼차3차원 박막 두께 측정을 위한 영상타원계측기에 관한 연구
서용범 일반 2016.01 학위논문

2015

3차원 박막 두께 측정을 위한 영상타원계측기
서용범 ,  주기남 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2015.12 학술대회자료

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#ellipsometry #3D film thickness profiles

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분광 결상 타원계측기를 위한 결상 분광기의 설계 및 시료측정
제갈원 ,  예상헌 ,  김수현 외 3명 대한기계학회 기타 간행물 2002 .11
수 마이크로 영역에서의 나노 박막 두께 측정을 위한 타원계측법
예상헌 ,  곽윤근 ,  김수현 외 3명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2007 .06
3차원 영상 구현을 위한 집적 결상계의 특성 분석
서장일 ,  차성도 ,  신승호 한국통신학회 기타 간행물 2002 .10
분광결상 타원계측법을 이용한 패턴이 형성된 나노박막의 두께측정
제갈원 ,  조용재 ,  조현모 외 3명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2004 .06
다층 박막 구조물 분석을 위한 간섭계와 타원계측기의 복합 측정 시스템 연구
윤영호 ,  주기남 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2017 .12

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