분광 결상 타원계측기를 위한 결상 분광기의 설계 및 시료측정

제갈원 ,  예상헌 ,  김수현 외 3명

대한기계학회 기타 간행물

2002 .11

3차원 박막 두께 측정을 위한 영상타원계측기

서용범 ,  주기남

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

수 마이크로 영역에서의 나노 박막 두께 측정을 위한 타원계측법

예상헌 ,  곽윤근 ,  김수현 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2007 .06

다이나믹 분광타원편광측정 기술 및 응용

김대석 ,  뎀베레 바마라

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2019 .11

3차원 영상 구현을 위한 집적 결상계의 특성 분석

서장일 ,  차성도 ,  신승호

한국통신학회 기타 간행물

2002 .10

다층 박막 구조물 분석을 위한 간섭계와 타원계측기의 복합 측정 시스템 연구

윤영호 ,  주기남

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

High speed thin film thickness uniformity measurement based on interferometric snapshot spectroellipsometer

Sukhyun Choi ,  Dembele Vama ,  a 외 4명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2018 .10

금속박막의 식각을 이용한 두께형상 측정

조항은 ,  김대수 ,  민병권

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .10

분광타원법을 이용한 다층 유기 발광 박막의 복소굴절율 및 구조 분석

류장위 ,  김상열 ,  김동현 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2001 .04

154㎸ 계통 결상시 발전기 영향 분석

옥연호 ,  이은웅 ,  변일환 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2008 .07

향상된 해상도를 가진 3차원 완전 결상의 컴퓨터 재생

조명진 ,  신동학 ,  하덕호

한국통신학회 기타 간행물

2004 .11

Ellipsometry를 이용한 193 nm photoresist에서의 물의 흡수 연구

이형주 ,  이정환 ,  서주빈 외 2명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2006 .01

3상 전원의 결상으로 인한 과전압 방지용 보호 시스템에 관한 연구

김현우 ,  김나운

한국화재소방학회 학술대회 논문집

2013 .01

다중모드간섭기의 위상오차 최소화 설계와 자아결상 특성의 개선

홍정무 ,  오범환 ,  이승걸 외 3명

한국통신학회 기타 간행물

2001 .10

박막 내 열전달 계측

김동식 ,  최선락

기계저널

2006 .07

나노계측기술

김수길

조명·전기설비

2005 .10

환경계측

한국설비기술협회

냉동공조기술

1989 .01

FT-IR 을 이용한 $SiO_2$ 초박막의 두께 측정 및 Ellipsometry 방법과의 비교연구

서경수 ,  박형호 ,  유병곤 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01