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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2019.8
- 수록면
- 39 - 47 (9page)
- DOI
- 10.14801/jkiit.2019.17.8.39
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박막제작 공정에서 실시간으로 박막의 두께를 측정하기 위하여 XRF 장치를 구성하고, Al/metal 계와 Au/metal 계의 특성을 조사하였다. 네가지 종류의 금속(<SUP>26</SUP>Fe, <SUP>27</SUP>Co, <SUP>28</SUP>Ni, <SUP>29</SUP>Cu) 기판 위에 Al과 Au 박막의 두께를 변화시키면서 박막물질과 기판물질의 방출선 강도변화를 측정하였다. Au L<SUB>α</SUB>-선은 두께가 증가함에 따라 일정한 추세를 가지고 증가함을 확인하였지만 강도가 약해서 두께측정용으로 사용하기에는 부적합한 것으로 나타났다. 반면 기판물질의 K<SUB>α</SUB>-선 강도는 박막의 두께가 증가함에 따라 지수함수적으로 감소함을 보였고, 이 데이터로부터 구한 적합함수(fitting function)는 실험결과와 매우 잘 일치하였다. 따라서 이 적합함수를 이용하면 미지박막의 두께를 측정하는데 응용할 수 있음을 확인하였다.
목차
요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험장치의 구성
Ⅲ. 실험결과 및 고찰
Ⅳ. 결론 및 향후 과제
References
참고문헌 (12)
참고문헌 신청
H. Ida / 2005 / Analysis of wrapped or cased object by a hand-held X-ray fluorescence spectrometer / Forensic Science International 151(2-3):267~272
H. Ida / 2005 / Analysis of painted steel by a hand-held X-ray fluorescence spectrometer / Spectrochimica Acta, Part B 60(2):249~252
R. Figi. / 2010 / Quantitative analysis of heavy metals in automotive brake linings: A comparison between wet-chemistry based analysis and in-situ screening with a handheld X-ray fluorescence spectrometer / Analytica Chimica Acta 676(1-2):46~52
1977 / United States Patent 4,034,251 July 5
G. Svehla / 1989 / Comprehensive Analytical Chemistry, Volume XXIV Energy Dispersive X-Ray Fluorescence Analysis / ELSEVIER :70~71
H. Ida / 2005 / Analysis of painted steel by a hand-held X-ray fluorescence spectrometer / Spectrochimica Acta, Part B 60(2):249~252
R. Figi. / 2010 / Quantitative analysis of heavy metals in automotive brake linings: A comparison between wet-chemistry based analysis and in-situ screening with a handheld X-ray fluorescence spectrometer / Analytica Chimica Acta 676(1-2):46~52
1977 / United States Patent 4,034,251 July 5
G. Svehla / 1989 / Comprehensive Analytical Chemistry, Volume XXIV Energy Dispersive X-Ray Fluorescence Analysis / ELSEVIER :70~71
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