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실시간 다층 박막 구조물 분석 기술 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
대영역 박막 두께 측정을 위한 영상타원계측기 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
3차원 박막 두께 측정을 위한 영상타원계측기
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
다층 박막 구조물 분석을 위한 간섭계와 타원계측기의 복합 측정 시스템 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
다층 디스플레이 기판의 두께 분포 측정 기술
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
다층막 구조물의 비파괴 3 차원 두께 및 형상 측정
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
광간섭계를 이용한 대형유리기판의 고속 두께 측정 기술
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
실시간 3D 형상 측정을 위한 층밀리기 간섭계
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2019 .11
멀티스케일 범위의 두께 측정을 위한 광간섭계 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021 .11
OCT 박막 두께 측정기의 기울기 보정에 관한 연구
한국산학기술학회 논문지
2022 .02
박막 구조 분석을 위한 이중 광간섭계 시스템 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021 .11
분광간섭계기반 대형 기판 두께, 굴절률, 표면 형상 동시 측정 기술
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .10
다이나믹 분광타원편광측정 기술 및 응용
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2019 .11
High speed thin film thickness uniformity measurement based on interferometric snapshot spectroellipsometer
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
[정밀측정 부문] 길이 표준에 소급하는 다층 박막 두께 측정 신뢰성 평가 방법
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .11
전도성 스퍼터링 탄소전극을 사용한 TCO-less 염료감응형 태양전지의 특성에 관한 연구
전기전자재료학회논문지
2016 .01
박막의 실시간 두께측정을 위한 XRF 장치의 제작 및 Al/metal과 Au/metal계의 특성
한국정보기술학회논문지
2019 .08
박막 인장 시험 시 신뢰성 높은 데이터 획득을 위한 초기 조건 설정 방법
대한기계학회 춘추학술대회
2021 .06
Thickness Measurement of Optical Flats with Phase Extraction Algorithm and Wavelength-scanning Interferometry
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2020 .09
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