3차원 박막 두께 측정을 위한 영상타원계측기

서용범 ,  주기남

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

분광결상 타원계측법을 이용한 패턴이 형성된 나노박막의 두께측정

제갈원 ,  조용재 ,  조현모 외 3명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2004 .06

다이나믹 분광타원편광측정 기술 및 응용

김대석 ,  뎀베레 바마라

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2019 .11

Ellipsometry방법에 의한 이온 주입 단결정 실리콘의 비정질층 두께 측정 연구 ( Evaluation of the Amorphous Layer Thickness in Implanted Silicon by Ellipsometry )

이원형 ,  김상기 ,  조경익 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1989 .11

금속박막의 식각을 이용한 두께형상 측정

조항은 ,  김대수 ,  민병권

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .10

FT-IR 을 이용한 $SiO_2$ 초박막의 두께 측정 및 Ellipsometry 방법과의 비교연구

서경수 ,  박형호 ,  유병곤 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

다층 박막 구조물 분석을 위한 간섭계와 타원계측기의 복합 측정 시스템 연구

윤영호 ,  주기남

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

Application of real time spectroscopic ellipsometry to thermal responses of Polymers

강연주 ,  오성준

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2010 .10

Mueller Matrix Ellipsometry 제작 및 응용

방경윤 ,  경재선 ,  오혜근 외 2명

반도체및디스플레이장비학회지

2004 .01

Determination of thickness and optical properties of fluorocarbon thin film on aluminum by a variable angle spectroscopic ellipsometry

Lee ,  Kang-Kuk ,  Kwon 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Glass Transition Temperature of Polymer LB film and spin Coated Film by X-ray Reflectivity and Ellipsometry

장태현

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2000 .10

Retardance Measurements Using Rotating Sample and Compensator Spectroscopic Ellipsometry

경재선 ,  방경윤 ,  오혜근 외 1명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2004 .01

High speed thin film thickness uniformity measurement based on interferometric snapshot spectroellipsometer

Sukhyun Choi ,  Dembele Vama ,  a 외 4명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2018 .10

Rotating Compensator Spectroscopic Ellipsometry의 개발 및 응용

이재호 ,  방경윤 ,  박준택 외 2명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2002 .01

Ellipsometry를 이용한 193 nm photoresist에서의 물의 흡수 연구

이형주 ,  이정환 ,  서주빈 외 2명

반도체및디스플레이장비학회지

2006 .01

Transparent MgO films deposited on glass substrates by e-beam evaporation for AC plasma display panels

Kuma ,  Sudhee ,  P 외 8명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2004 .01