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Low Temperature HfO₂ Thin Film Encapsulation for Organic Light-Emitting Diodes Grown by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2015 .10
플라즈마 원자층 증착을 이용한 TiO₂ thin film 굴절율 최적화
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .07
Al₂O₃/HfO₂ Thin Film Grown by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition for Quantum-Dot Light Emitting Diode Encapsulation
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2016 .10
Characteristics of Al₂O₃ thin films grown by using atomic layer deposition at low temperature
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
플라즈마 강화 원자층 증착법에 의한 TaN<sub>x</sub> 박막의 전기 전도도 조절
한국재료학회지
2018 .01
환경 센서의 Encapsulation 을 위한 공간분할형 원자층 증착 시스템에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
저온에서 원자층 증착법으로 제작된 Al₂O₃, TiO₂ 박막의 특성 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .07
Al₂O₃/HfO₂ Moisture Barrier Films on Polymer Grown by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2016 .04
유한요소해석을 통한 Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 장비 유동 가시화 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2020 .07
원자층 증착법에 의한 TiO₂, Al₂O₃, 및 TiO₂-Al₂O₃ 나노라미네이트 박막이 316L Stainless Steel의 부식특성에 미치는 영향
한국표면공학회지
2017 .02
원자층 박막 증착법을 이용한 리튬 박막 제작
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
Atomic Layer Deposition 방법을 이용한 Zinc Oxide Hybrid 박막의 기계적 물성 향상
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
다양한 온도에서 Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition으로 증착한 MoOx film의 특성
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2019 .04
원자적층법(Atomic Layer Deposition) 증착 조건에 따른 ZnO 박막의 특성 변화 확인
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
SiO₂ bottom-up trench fill of a high aspect ratio hole by plasma enhanced atomic layer deposition using a very high frequency plasmas and inhibitor surface treatment
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2022 .06
Atomic Layer Deposition of TiO₂ using Titanium Isopropoxide and H₂O : Operational Principle of Equipment and Parameter Setting
JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE
2016 .06
Improved Film properties of Al₂O₃ Film Deposition on Graphene substrates deposited by UV-assisted Atomic Layer Deposition
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .11
연구용 초소형 원자층 층착 장치 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .05
원자층 증착 기술을 이용한 TiO2 활성층 기반 TFT 연구
전기전자재료학회논문지
2015 .01
Highly Improvement Performance of Ru/TiO₂-ZrO₂-TiO₂/Ru Metal-insulator-metal Capacitors by Formation of Rutile-TiO₂ with High Crystallinity Using Atomic Layer Annealing
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021 .11
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