iCVD/ALD Single-chamber system and its application to thin film encapsulation

김봉준 ,  박홍근 ,  성혜정 외 3명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2017 .04

The fabrication of an organic encapsulation film by one-step process using Initiated Chemical Vapor Deposition (iCVD)

석지후 ,  김성희 ,  조해명 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2016 .04

Fabrication of Flexible Composite Thin Encapsulation Film

탁소현 ,  이혜수 ,  유재웅

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2022 .10

기류해석을 통한 ICVD 챔버 최적화

이효성 ,  이정헌 ,  곽재복

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2019 .04

Surface treatment on the dielectric layer of organic thin film transistors via initiated chemical vapor deposition (iCVD)

박관용 ,  성혜정 ,  임성갑

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2015 .04

Enhanced Conductivity Network of Transparent PEDOT:PSS Electrode by Alcoholic Solvent Post-treatment Process Improved PCE (%) of Organic Photovoltaics

김민수 ,  장웅식 ,  김선주 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2020 .10

Highly Efficient Immobilization of Antimicrobial Peptide on Non-Conventional Surfaces Via Initiated Chemical Vapor Deposition (Icvd)

Sang Hyun KIM ,  Gu Min JEonG ,  Hye Jeong SEonG 외 4명

한국생물공학회 학술대회

2017 .04

OLED Barrier와 Encapsulation을 위한 원자층 증착 Polymer / Al₂O₃ 다층 필름의 온습도 신뢰도 평가 분석

이사야 ,  송윤석 ,  김현 외 1명

반도체디스플레이기술학회지

2017 .01

멀티 슬릿 ALD 헤드를 이용한 저온·상압 원자층 박막 증착 공정 기술 개발

김현범 ,  이재욱 ,  양성욱 외 2명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2017 .04

Low-voltage Operating Organic Thin Film Transistors with Ultrathin Polymer Gate Insulator Synthesized via iCVD

김정준 ,  성혜정

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2023 .04

환경 센서의 Encapsulation 을 위한 공간분할형 원자층 증착 시스템에 관한 연구

이재욱 ,  김현범 ,  양성욱 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

OLED의 Barrier와 Encapsulation을 위한 원자층 증착 기술로 공정된 Al₂O₃/TiO₂/Al₂O₃ 다층 필름

이사야 ,  송윤석 ,  김현 외 1명

반도체디스플레이기술학회지

2017 .01

Organic/Inorganic Thin Film Encapsulation 적용된 마이크로 디스플레이 기술 개발

권병화

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2024 .09

ALD를 이용한 ZnO 기반 박막물질의 광전소자로의 응용

이우재 ,  윤은영 ,  권정대 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .05

Atomic Layer Deposition for Electrochemical Applications

이우재 ,  Susata Be ,  aa 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2021 .06

ALD enabled Functional Nano Thin Films for Improved Performance of Energy Devices

권세훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2020 .06

MoS₂ Transistors with iCVD-Grown Copolymer Gate Dielectrics

김민제 ,  최용석 ,  석지후 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2018 .04

표면 반응 제어를 통한 영역 선택적 원자층 증착법 연구 동향

고은총 ,  안지상 ,  한정환

한국표면공학회지

2022 .12

차세대 인터커넥션 적용을 위한 ALD Ru 금속 박막의 비저항 변화 연구

조인호 ,  이승훈 ,  황해인 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2024 .07

라인형 플라즈마 소스를 이용한 ALD 공정 연구

권기청 ,  조태훈 ,  최진우 외 3명

반도체디스플레이기술학회지

2016 .01