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저자정보
송원일 (한국생산기술연구원) 유경훈 (한국생산기술연구원)
저널정보
대한설비공학회 대한설비공학회 학술발표대회논문집 대한설비공학회 2015년도 하계학술발표대회
발행연도
2015.6
수록면
925 - 928 (4page)

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Because of the annual continued operation, a large amounts of energy is consumed to maintain a clean room environment in large-scale semiconductor manufacturing clean room. In particular, the energy requirement to humidify outdoor air in the winter season is generally known to be high. To overcome the high energy consumption nature of steam humidification, an air washer is often introduced instead of a steam generator in the conventional outdoor air conditioning system, and recently an air washer installed in the cleanroom. Furthermore, from energy conservation point of view heat recovery is useful for reducing the energy consumption. Therefore, the assessment of the annual energy consumed in the exhaust air heat recovery air washer system deserves to be examined in order to reduce the load of a clean room. In the present study, a numerical analysis was conducted to obtain the annual electric power consumption of the heat recovery type outdoor air conditioning system.

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 수치해석 방법
3. 결과 및 고찰
참고문헌

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