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김소연 (중앙대학교) 정민규 (중앙대학교) 구돈익 (중앙대학교) 서기정 (중앙대학교) 김민성 (중앙대학교)
저널정보
대한설비공학회 대한설비공학회 학술발표대회논문집 대한설비공학회 2024년도 하계학술발표대회 논문집
발행연도
2024.6
수록면
518 - 521 (4page)

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Heat pumps are becoming a key device in carbon neutrality of thermal energy. Recently, the scope of application has expanded beyond commercial and household use to various industrial systems. General industrial heat pumps are intended for high temperature production, such as steam, but have great potential to be used for industrial purposes even at production temperatures below that. Typically, this method is applied to air conditioners or external air conditioners that require cooling and heating at the same time. In actual clean rooms of semiconductor or battery production processes, steam boilers and refrigerators are often used as a means of heating and cooling, and when applied as a heat pump, energy savings of more than 30% are possible. However, due to the nature of the process, precise temperature and humidity control must be possible, and technological development for this is of course necessary. In this presentation, we will consider the energy saved when heat pumps are applied to semiconductor processes and explore ways to expand their use.
#Industrial heat pump(산업용 히트펌프) #Clean room(클린룸) #Semiconductor manufacturing industry(반도체 제조산업) #Energy savings(에너지절감)

목차

Abstract
1. 서론
2. 클린룸 종류
3. 반도체 클린룸의 구성
4. 결 론
참고문헌

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