첨단 전자 디바이스 제조용 클린룸의 가습 방식에 따른 연간 에너지 소비량 산출

송원일; 유경훈; 태경응; 김용식; 권오명

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 송원일 (한국생산기술연구원) 유경훈 (한국생산기술연구원) 태경응 (은성화학) 김용식 (삼우시스템) 권오명 (고려대학교)

저널정보: 대한설비공학회 대한설비공학회 학술발표대회논문집 대한설비공학회 2015년도 하계학술발표대회

발행연도: 2015.6

수록면: 929 - 931 (3page)

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2018

일유체 노즐을 이용한 실내 수분무가습 방식 클린룸의 에너지소비량에 관한 실험적 연구

송원일 , 박수빈 , 김기철 외 7명 설비공학논문집 2018.11 학술저널

일유체 노즐을 이용한 실내 수분무가습 방식 클린룸의 에너지소비량에 관한 연구

송원일 기계공학과 2018.01 학위논문

2017

실내 수분무 가습 방식 클린룸의 공조에너지 실험

송원일 , 박수빈 , 김기철 외 4명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2017.06 학술대회자료

증기가습 방식 클린룸의 공조에너지 실험

송원일 , 김기철 , 유경훈 외 3명 대한기계학회 춘추학술대회 2017.05 학술대회자료

2016

증기 가습 방식 클린룸의 에너지 소비량 실험 및 수치해석

송원일 , 유경훈 , 김기철 외 2명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2016.06 학술대회자료

가습 방식에 따른 클린룸 공조프로세스 비교 실험

송원일 , 유경훈 , 김기철 외 2명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2016.06 학술대회자료

실내 수분무 가습 방식 클린룸의 에너지 소비량 비교 실험

송원일 , 유경훈 , 김기철 외 3명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2016.06 학술대회자료

실내 수분무 가습 방식 클린룸의 공조프로세스 비교 실험

송원일 , 유경훈 , 김기철 외 3명 대한기계학회 춘추학술대회 2016.04 학술대회자료

증기 가습 방식 클린룸의 에너지 소비량 실험

송원일 , 유경훈 , 김기철 외 2명 대한기계학회 춘추학술대회 2016.04 학술대회자료

2015

첨단 전자 디바이스 제조용 클린룸의 가습 방식에 따른 연간 에너지 소비량 산출

송원일 , 유경훈 , 태경응 외 2명 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2015.06 학술대회자료

배기 열회수식 에어와셔 시스템 클린룸의 연간 전력 소비량 수치해석

송원일 , 유경훈 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2015.06 학술대회자료

고온냉수 시스템을 이용한 반도체 클린룸의 연간 전력 소비량 산출

송원일 , 유경훈 , 이관철 대한설비공학회 학술발표대회논문집 2015.06 학술대회자료

가습 방식에 따른 반도체 클린룸의 연간 에너지 소비량 수치해석

송원일 , 유경훈 , 태경응 외 1명 대한기계학회 춘추학술대회 2015.04 학술대회자료

클린룸 최신 기술의 심층분석 - 일유체 노즐을 이용한 실내 수분무 가습 클린룸 시스템

송원일 , 유경훈 , 태경응 외 1명 공기청정기술 2015.01 학술저널

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유경훈

소속기관 한국생산기술연구원

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 5%

논문수 133 이용수 8,709

태경응

소속기관 은성화학

주요연구분야 공학 > 건축공학 > 건축공학 일반 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 33 이용수 2,050

김용식

소속기관 삼우시스템

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 24 이용수 1,050

권오명

소속기관 고려대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 86 이용수 4,410

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