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논문 기본 정보

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학술대회자료
저자정보
송원일 (한국생산기술연구원) 유경훈 (한국생산기술연구원) 이관철 (대한피엔씨)
저널정보
대한설비공학회 대한설비공학회 학술발표대회논문집 대한설비공학회 2015년도 하계학술발표대회
발행연도
2015.6
수록면
921 - 924 (4page)

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Because of the annual continued operation, a large amounts of energy is consumed to maintain a clean room environment in large-scale semiconductor manufacturing clean room. Therefore, the evaluation and comparison of the annual energy consumption of clean rooms using high-temperature chilled water system and conventional 7℃ chilled steam humidification system clean rooms have a significant meaning for reducing energy consumption. In the present study, a numerical analysis was conducted to obtain the annual energy consumption of the two clean rooms using high-temperature chilled water system and conventional 7℃ chilled steam humidification system. It was shown from the numerical results that the clean room using high-temperature chilled water system exhibited lower energy consumption and was more energy-efficient for the operation than the conventional steam humidification system clean room.

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 수치해석 방법
3. 결과 및 검토
참고문헌

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