RF 에칭 시스템에서 이온의 몬테카를로 시뮬레이션 ( Monte Carlo Simulation of Ion in an FR Plasma Etching System )

반용찬 ,  이제희 ,  윤상호 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

몬테카를로 계산 방식에 의한 RF 플라즈마 에칭 시스템에서의 이온 분포 계산 ( Calculation of Ion Distributions in an RF Plasma Etching System Using Monte Carlo Methods )

반용찬 ,  이제희 ,  윤상호 외 3명

전자공학회논문지-D

1998 .05

미세부품가공을 위한 이온빔 가공장치의 RF 이온원 방전 특성 연구

김종국 ,  김도근 ,  강재욱

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2008 .06

RF / IF Front-end Design

윤찬의

대한전자공학회 워크샵

1997 .01

몬테카를로시뮬레이션 (Monte-Carlo simulation)을 이용한 전과정평가의 불확실성에 대한 확률통계적분석

안상전 ,  이건모 ,  이상용 외 1명

대한환경공학회 학술발표논문집

2005 .12

몬테카를로 시뮬레이션 문제의 고속화 설계

정예찬 ,  김동승

한국정보과학회 학술발표논문집

2016 .12

플라즈마 식각 시뮬레이션을 위한 스캔 방식의 이온 플럭스 계산 방법

신성식 ,  유동훈 ,  권오봉

전자공학회논문지

2013 .10

Monte Carlo 법을 이용한 플라즈마 내의 이온 운동 해석

이홍식 ,  황기웅

대한전기학회 학술대회 논문집

1989 .11

3차원 몬테카를로 이온주입 시뮬레이터의 개발 ( Development of Three-Dimensional Monte Carlo Ion implantation Simulator )

송재복 ,  원태영

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

3차원 몬테카를로 이온주입 시뮬레이터의 개발

송재복 ,  원태영

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

RF보상 삼중탐침을 통한 RF 플라즈마 진단

최익진 ,  정진욱

대한전기학회 학술대회 논문집

2005 .07

RF 망 구성 기술

홍대형

한국통신학회 세미나

1993 .01

Time Periodic Steady State in Simulation of Coupled RF Plasma

S.J.Pa ,  k ,  C.S.Oh

한국에너지학회 학술발표회

2012 .10

RF 프론트엔드 모듈 구현을 위한 고 전력 RF 스위치 기술 개발

김기진 ,  이석희 ,  안광호

대한전자공학회 학술대회

2016 .06

몬테카를로 시뮬레이션을 이용한 비정질 셀레늄의 특성 평가

김진영 ,  강상식 ,  이동길 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

RF통신과 에너지 변환 기술을 이용한 RF-ID시스템

임상욱 ,  김용상 ,  이교성 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07

몬테카를로 시뮬레이션에 의한 변전소 신뢰도 평가기법

김성헌 ,  박지열 ,  이동주 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2016 .07

이온빔 몬테 카를로 시물레이션 프로그램 개발 및 집속 이온빔 공정 해석

김흥배

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2012 .04

Plasma Etching for saw damage removal Using RF DBD

Min Guk Ko ,  Jong Guen Yang ,  Heon Ju Lee

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11