RF 에칭 시스템에서 이온의 몬테카를로 시뮬레이션

반용찬 ,  이제희 ,  윤상호 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

RF 에칭 시스템에서 이온의 몬테카를로 시뮬레이션 ( Monte Carlo Simulation of Ion in an FR Plasma Etching System )

반용찬 ,  이제희 ,  윤상호 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

몬테카를로 방식에 의한 스퍼터율 계산에 관한 연구

潘用瓚 ,  李濟熙 ,  元太映

전자공학회논문지-D

1998 .12

플라즈마 식각 시뮬레이션을 위한 스캔 방식의 이온 플럭스 계산 방법

신성식 ,  유동훈 ,  권오봉

전자공학회논문지

2013 .10

RF보상 삼중탐침을 통한 RF 플라즈마 진단

최익진 ,  정진욱

대한전기학회 학술대회 논문집

2005 .07

미세부품가공을 위한 이온빔 가공장치의 RF 이온원 방전 특성 연구

김종국 ,  김도근 ,  강재욱

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2008 .06

RF / IF Front-end Design

윤찬의

대한전자공학회 워크샵

1997 .01

Monte Carlo 시뮬레이션을 이용한 단결정 실리콘에서 이온주입 불순물 농도 분포 및 점결함 분포의 계산 ( Monte Carlo Calculation of particle and Point Defect Distributions for Ion-Implanted Dopant in Crystalline Silicon )

손명식 ,  이준하 ,  변기량 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1995 .11

Monte Carlo 시뮬레이션을 이용한 단결정 실리콘에서의 이온 주입 불순물 농도 분포 및 점결함 분포의 계산

손명식 ,  이준하 ,  변기량 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1995 .12

RF 플라즈마를 이용한 다이아몬드 박막의 제조

신재균 ,  현준원

한국표면공학회지

1998 .06

RF 소스 파워의 레이저 포획 플라즈마 입자 분포에의 영향

김병환 ,  정동화

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .05

3차원 몬테카를로 이온주입 시뮬레이터의 개발 ( Development of Three-Dimensional Monte Carlo Ion implantation Simulator )

송재복 ,  원태영

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

3차원 몬테카를로 이온주입 시뮬레이터의 개발

송재복 ,  원태영

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

Time Periodic Steady State in Simulation of Coupled RF Plasma

S.J.Pa ,  k ,  C.S.Oh

한국에너지학회 학술발표회

2012 .10

RF 플라즈마 전력 전송 기술

이상원

인포메이션 디스플레이

2017 .01

Monte Carlo 법을 이용한 플라즈마 내의 이온 운동 해석

이홍식 ,  황기웅

대한전기학회 학술대회 논문집

1989 .11

RF 망 구성 기술

홍대형

한국통신학회 세미나

1993 .01

RF 프론트엔드 모듈 구현을 위한 고 전력 RF 스위치 기술 개발

김기진 ,  이석희 ,  안광호

대한전자공학회 학술대회

2016 .06

RF통신과 에너지 변환 기술을 이용한 RF-ID시스템

임상욱 ,  김용상 ,  이교성 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07