고수율 집속 이온빔 장치를 위한 ICP 이온원의 빔 인출 특성에 관한 연구

김동욱 ,  장동영 ,  박만진 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2013 .05

RF 에칭 시스템에서 이온의 몬테카를로 시뮬레이션

반용찬 ,  이제희 ,  윤상호 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

다개구 이온빔 가공장치용 냉음극 방식의 가스 이온원의 가능성 평가에 관한 연구

최성창 ,  강인철 ,  한재길 외 2명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2011 .03

단면 가공용 이온 밀링 장치의 이온 빔 크기 측정 방법 연구

원종한 ,  박만진 ,  장동영

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2013 .05

이온빔을 이용한 마이크로/나노 가공: 모델링

김흥배 ,  Geha ,  d Hoble

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2007 .08

RF / IF Front-end Design

윤찬의

대한전자공학회 워크샵

1997 .01

이온빔 조사 경로에 따른 집속이온빔 가공공정의 효율평가

김충수 ,  안성훈 ,  이길용 외 4명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .06

유도결합형 플라즈마 소스를 이용한 집속 이온빔용 가스 이온원 개발

이승훈 ,  김도근 ,  강재욱 외 3명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2011 .01

이온트랩에서 증폭된 RF 신호의 실시간 제어 방법

박윤재 ,  오현석 ,  유승우 외 6명

한국통신학회 학술대회논문집

2020 .02

E-ION

M. Roegie ,  s

Lubricants Symposium

2004 .09

Study on High Precision Milling using Plasma Ion source

Jong-Han Won ,  Dong-Young Jang

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2014 .09

몬테카를로 계산 방식에 의한 RF 플라즈마 에칭 시스템에서의 이온 분포 계산 ( Calculation of Ion Distributions in an RF Plasma Etching System Using Monte Carlo Methods )

반용찬 ,  이제희 ,  윤상호 외 3명

전자공학회논문지-D

1998 .05

다중이온빔 가공 시스템의 가공균일성 향상

김태곤 ,  김규호 ,  이상조 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .10

대전류 이온원을 이용한 이온빔 에칭에 관한 연구

김범석 ,  최혁준 ,  이찬영 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .05

다중 이온빔을 이용한 미세 패턴 가공

김태곤

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .05

집속이온빔 가공장치의 이온컬럼부 얼라인먼트

박철우 ,  최진형 ,  이종항

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2005 .10

RF보상 삼중탐침을 통한 RF 플라즈마 진단

최익진 ,  정진욱

대한전기학회 학술대회 논문집

2005 .07

RF 망 구성 기술

홍대형

한국통신학회 세미나

1993 .01