스트레스 효과를 고려한 3차원 산화 시뮬레이션

이제희; 윤상호; 원태영

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이제희 윤상호 원태영

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 1996년도 추계종합학술대회 논문집(B) Vol.19 No.2

발행연도: 1996.11

수록면: 784 - 787 (4page)

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1996

스트레스 효과를 고려한 3차원 산화 시뮬레이션

이제희 , 윤상호 , 원태영 대한전자공학회 학술대회 1996.11 학술대회자료

스트레스 효과를 고려한 3차원 산화 시뮬레이션 ( Three-Dimensional Simulation of Thermal Oxidation with Stress Effect )

이제희 , 윤상호 , 원태영 대한전자공학회 학술대회 1996.11 학술대회자료

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