스트레스 효과를 고려한 3차원 산화 시뮬레이션

이제희 ,  윤상호 ,  원태영

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

유한요소법을 사용한 3차원 열산화 공정 시뮬레이션에 관한 연구 ( Three-Dimensional Thermal Oxidation by Finite Element Method )

윤상호 ,  이제희 ,  원태영 외 3명

대한전자공학회 워크샵

1996 .01

3 차원 산화 시뮬레이터 개발 ( Development of Three-dimensional Thermal Oxidation Simulator )

이제희 ,  윤상호 ,  원태영

전자공학회논문지-D

1997 .02

Modeling of Three-Dimensional Thermal Oxidation

이준하 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

열산화 공정 시뮬레이션을 위한 3차원 메쉬 생성기 제작

윤상호 ,  이제희 ,  원태영

대한전자공학회 학술대회

1995 .12

열산화 공정 시뮬레이션을 위한 3차원 메쉬 생성기 제작 ( Three-Dimensional Mesh Generation for Thermal Oxidation )

윤상호 ,  이제희 ,  원태영

대한전자공학회 학술대회

1995 .11

Three-Dimensional Analytical Model for Thermal Oxidation Process

Jun Ha Lee ,  Oh Keun Kwon ,  Ki Ryang Byun 외 1명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1993 .01

Two Dimensional Numerical Simulation of Local Oxidation of Silicon including Stress Effect

Jun Ha Lee ,  Hwa Sik Pa ,  k 외 1명

대한전자공학회 기타 간행물

1992 .01

1 Giga급 집적회로 구현을 위한 3차원 산화 공정 시뮬레이션 개발 및 산화층 성장 특성 분석에 관한 연구 ( Development of Three-Dimensional Thermal Oxidation Process Simulator and Analysis the Characteristics of Multi-Dimensional Oxide Growth )

이준하 ,  황호정

전자공학회논문지-A

1995 .08

산화 증배 확산을 고려한 3차원 불순물 확산에 관한 연구 ( A Study on the Three-Dimensional Impurity Diffusion During the Thermal Oxidation )

이승철 ,  권오근 ,  이준하 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1995 .11

산화 증배 확산을 고려한 3차원 불순물 확산에 관한 연구

이승철 ,  권오근 ,  이준하 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1995 .12

3 차원 산화 공정을 위한 유한요소법 수치 해석기 개발에 관한 연구 ( Development of Finite Element Numerical Simulation for Three - dimensional Oxidation )

이제희 ,  윤상호 ,  송재복 외 2명

전자공학회논문지-D

1997 .03

Thermal Stress Simulation of Mass Concrete Using Thermal Stress Device

Muhammad Nasi ,  Amin ,  Kim 외 1명

한국콘크리트학회 학술대회 논문집

2006 .05

반응표면분석법을 이용한 열산화공정의 최적화 ( Optimization of Thermal Oxidation Using Response Surface Methodology )

이준성 ,  박세근 ,  정덕진

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

해석모델을 이용한 3차원 산화 시뮬레이션 ( Three-Dimensional Analytic Model of LOCOS )

이준하 ,  권오근 ,  변기량 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1993 .01

산화와 관련된 현상 - 산화적층 결함 ( Oxidation Related Phenomena - Oxidation Induced Stacking Fault ( OISF ) )

강상원 ,  백문철 ,  조경익 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1982 .01

다공질 실리콘의 열산화 ( Thermal Oxidation of Porous Silicon )

박정용 ,  조찬섭 ,  양천순 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .07

BEM을 이용하여 열산화를 고려한 실리콘 내에서 불순물의 2차원 재분포에 관한 연구

김훈 ,  황호정

대한전기학회 학술대회 논문집

1988 .07

BEM을 이용하여 열산화를 고려한 실리콘 내에서 불순물의 2차원 재분포에 관한 연구 ( Two-Dimensional Redistribution of Impurity Considering Thermal Oxidation in Silicon Using BEM )

김훈 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1988 .07

스트레스

대한산업보건협회

산업보건

1994 .01