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자료유형
학술저널
저자정보
오승근 (전남대학교) 김영만 (전남대학교)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제46권 제4호
발행연도
2013.9
수록면
139 - 144 (6page)

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c-BN(cubic boron nitride) is known to have extremely high hardness next to diamond, as well as very high thermal and chemical stability. The c-BN in the form of film is useful for wear resistant coatings where the application of diamond film is restricted. However, there is less practical application because of difficult control of processing variables for synthesis of c-BN film as well as unclear mechanism on formation of c-BN. Therefore, in the present study, the structural characterization of c-BN thin film were investigated using B4C target in r.f. magnetron sputtering system as a function of processing variables. c-BN films were coated on Si(100) substrate using B4C (99.5% purity). The mixture of nitrogen and argon was used for carrier gas. The deposition processing conditions were changed with substrate bias voltage, substrate temperature and base pressure. Fourier transform infrared microscopy (FT-IR) and X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) were used to analyze crystal structures and chemical binding energy of the films. In the case of the BN film deposited at room temperature, c-BN was formed in the substrate bias voltage range of ?400 V~ ?600 V. Less c-BN fraction was observed as deposition temperature increased and more c-BN fraction was observed as base pressure increased.
#c-BN #B₄C #Oxygen addition #Base pressure #Magnetron sputtering

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
References

참고문헌 (15)

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1. [학술지(정기간행물)] - H. Lüthje / 1995 / / Thin Solid Films 257 : 40 ~ google schola 2. [학술지(정기간행물)] - H. Holleck / 1986 / / J. Vac. Sci. Technol. A4 : 2661 ~ google schola 3. [단행본] - R. C. DeVries / 1991 / Diamond and Diamond Like Films and Coatings / Plenum Press : 151 ~ google schola 4. [학술지(정기간행물)] - R. Haubner / 1993 / / Diamond Relat. Mater 2 : 1277 ~ google schola 5. [학술지(정기간행물)] - F. P. Bundy / 1963 / / J. Chem. Phys 38 : 1144 ~ google schola

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