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저자정보
최광남 (경희대학교) 박준우 (경희대학교) 백숭호 (경희대학교) 이호선 (경희대학교) 곽성관 (유한대학) 정관수 (경희대학교)
저널정보
대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 2007년 하계종합학술대회
발행연도
2007.7
수록면
441 - 442 (2page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2007

DC magnetron 방법과 RF 스퍼터링 방법으로 제작된 Nickel Oxide 박막의 특성 연구
최광남 ,  박준우 ,  백승호 외 3명 대한전자공학회 학술대회 2007.07 학술대회자료
DC magnetron 방법과 RF 스퍼터링 방법으로 제작된 Nickel Oxide 박막의 특성 연구
최광남 ,  박준우 ,  백숭호 외 3명 대한전자공학회 학술대회 2007.07 학술대회자료
반응성 DC 스퍼터링 방법으로 증착된 Nickel Oxide 박막의 산소 분압에 따른 조성비 특성
최광남 ,  박준우 ,  이호선 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2007.02 학술대회자료

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We deposited nickel oxide(NiO) thin films on silicon(Si) substrates at Room temperature and 500℃ using a nickel target by reactive DC and RF sputtering. In addition, we anneal to NiO thin films deposited at room temperature. Using spectroscopic eillipsometry, we obtained optical characteristics of every films. We discussed relat ... 전체 초록 보기

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마그네트론 코-스퍼터링에 의한 구리-니켈 합금박막 증착시 타겟의 구성방법에 따른 물성 분석
서수형 ,  이재엽 ,  박창균 외 1명 대한전기학회 학술대회 논문집 2000 .07
미소 기전 시스템용 니켈 박막의 기계적 물성 측정
백동천 ,  박태상 ,  이순복 외 3명 대한기계학회 춘추학술대회 2003 .04
전기변색 내구성이 향상된 이산화티타늄/산화니켈 이종구조 제작 및 특성 분석
정낙현 ,  유정훈 ,  김동인 외 6명 한국진공학회 학술발표회초록집 2017 .08

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