플라즈마 공정을 이용한 나노미터 단위의 진공리소그래피

김성오 ,  박복기 ,  박진교 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .07

플라즈마 에칭

정재국 ,  정기형

전기의세계

1993 .10

플라즈마 중합

김성룡

고분자 과학과 기술

2005 .02

새로운 나노미터급 프리어 변환 리소그래피법 개발

김창교 ,  홍진수 ,  이의식 외 1명

한국산학기술학회 학술대회논문집

2005 .05

나노미터 3차원 형상 측정기술 개발

박희재

대한기계학회 춘추학술대회

2002 .09

플라즈마 중합에 의한 유기 박막 제조

서은덕 ,  박상현 ,  김종향

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1986 .10

단량체의 구조가 플라즈마 중합에 미치는 영향

모영기 ,  김민정 ,  김상석 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1998 .10

저은 프라즈마 공정과 계면중합을 이용한 역삼투막의 제조

김현일 ,  김성수 ,  전배혁

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1998 .10

플라즈마 중합된 유기박막의 도전특성

이덕출 ,  권혁삼 ,  오흥석 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1987 .04

정압테이블을 이용한 나노미터 위치결정

박천홍 ,  이찬홍 ,  이후상

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2001 .10

플라즈마 공정을 이용한 완전한 건식리소그래피

김성오 ,  박복기 ,  김두석 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .11

소프트 리소그래피 기술

신영재 ,  이응숙 ,  정준호

기계와 재료

2002 .01

플라즈모닉 레이저 광 나노리소그래피 기술

한재원 ,  정호원

기계저널

2011 .09

플라즈마 에칭 기법으로 제작된 세포외 기질이 포함된 폴리카프로락톤 섬유의 나노 패턴이 세포활동에 끼치는 영향

여미지 ,  전호준 ,  안승현 외 5명

대한기계학회 춘추학술대회

2016 .04

결정화 공정을 이용한 폐에칭액의 인산 재활용 기술

박수현

플랜트 저널

2009 .01

최근의 X-ray 리소그래피 기술개발 현황

유형준 ,  황호병 ,  이병철 외 1명

[ETRI] 전자통신동향분석

1990 .09

진공도 측정

정광화

기계저널

1998 .05

반도체 공정용 리소그래피 기술의 최근 동향

정태진 ,  유종준

[ETRI] 전자통신동향분석

1998 .10

Surface Modification by Plasma Polymerization

박수영 ,  김낙중 ,  홍성일

한국섬유공학회 학술발표논문집

1991 .01

탐침법에 의한 CF4 가스 프라즈마 제량의 측정과 에칭 특성 ( Characteristics of Plasma Diagnostics of CF4 Gas with Electric Probe )

성영권 ,  신동렬 ,  최복길 외 1명

전자공학회논문지

1986 .11