프라즈마 중합과 플라즈마 에칭을 이용한 나노미터 단위의 진공리소그래피

김성오 ,  박복기 ,  김두석 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

플라즈마 공정을 이용한 완전한 건식리소그래피

김성오 ,  박복기 ,  김두석 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .11

새로운 나노미터급 프리어 변환 리소그래피법 개발

김창교 ,  홍진수 ,  이의식 외 1명

한국산학기술학회 학술대회논문집

2005 .05

전자빔 가공기의 진공제어 밸브 설계 및 특성평가

이찬홍 ,  이후상

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2005 .06

진공기술

정광화

전기의세계

1988 .07

플라즈마 공정에서의 열 관리

강희석 ,  이대훈 ,  변성현 외 3명

KOSCO SYMPOSIUM 논문집

2015 .05

무산소동 표면의 나노미터단위 초정밀가공

원종호 ,  박상진 ,  오래택 외 4명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1999 .11

3차원 분자동력학법을 이용한 나노 리소그래피 공정의 연구

안준석 ,  김영석 ,  이승섭

한국소성가공학회 학술대회 논문집

2002 .10

진공 / 플라즈마 실험 카트 설계

강충현 ,  강대현 ,  주정훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2016 .11

소프트 리소그래피 기술 동향

신영재 ,  조정대 ,  이응숙

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2003 .04

나노미터 3차원 형상 측정기술 개발

박희재

대한기계학회 춘추학술대회

2002 .09

Nanometer-Scale Lithography of the Ultrathin Films with Atomic Force Microscopy

Jin Chul Kim ,  Hai Won Lee ,  Yong Woo Shin 외 2명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Nanometer-Scale lithography of the ultrathin Films With Atomic Force Microscope

김진철 ,  이해원 ,  신용우 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

나노미터 크기 유막에서의 탄성유체윤활 ( Thin Film Elastohydrodynamic Lubrication of Nanometer Scale )

장시열

Tribology and Lubricants

1998 .03

Sub-10nm Overlay Accuracy in Electron Beam Lithography for Nanometer-Scale Device Fabrication

K. Yamazaki ,  A. Fujiwa ,  a 외 5명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

나노미터 크기의 임의 형상을 제작하기 위한 새로운 리소그래피 기술

홍진수 ,  김창교

한국산학기술학회 논문지

2004 .06

SPL과 소프트 리소그래피를 이용한 나노 구조물 형성 연구

류진화 ,  정명영 ,  김창석

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2006 .07

Nanometer-Scale Surface Analysis of Polymers Using Laser Ablation Spectroscopy

김민규

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .07

진공기술(Vacuum Technology)(1);진공펌프 종류 및 특징에 대하여

김광영 ,  김동수

기계와 재료

2000 .01

제동 장치 진공 배력 시스템의 운전부하 측면 평가 방안 연구

이예쁜 ,  이영석 ,  문철우 외 1명

한국자동차공학회 추계학술대회 및 전시회

2017 .11