반도체 공정용 리소그래피 기술의 최근 동향

정태진 ,  유종준

[ETRI] 전자통신동향분석

1998 .10

소프트 리소그래피 기술

신영재 ,  이응숙 ,  정준호

기계와 재료

2002 .01

Sub-50㎚급 나노 임프린트 리소그래피장비 기술

이재종 ,  최기봉 ,  김기홍

전기의세계

2007 .10

포토 리소그래피용 고분자 재료

최상준

고분자 과학과 기술

2000 .04

블록 공중합체 리소그래피

이지훈

고분자 과학과 기술

2010 .06

소프트 리소그래피 기술 동향

신영재 ,  조정대 ,  이응숙

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2003 .04

T.A.B 기술현황

김두성

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2006 .11

홀로그래픽 광유체화 리소그래피 기술

정용철 ,  김강한

인포메이션 디스플레이

2017 .01

대면적 고생산성 나노임프린트 리소그래피

정준호 ,  김기돈 ,  최대근 외 6명

전기의세계

2007 .10

차세대 원자력발전소(APR+) 개발 현황

김용환

기계저널

2012 .03

전자빔 리소그래피에서의 Dose and Shape Correction을 이용한 근접효과 보정

서은성 ,  최보경 ,  김오현

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

최근의 FILTER 개발현황

김정호

냉동공조기술

1988 .01

직접 패터닝 기술을 이용한 $TiO_2$ 나노 패턴 형성

윤경민 ,  양기연 ,  이헌

한국재료학회 학술발표대회

2009 .01

플라즈모닉 레이저 광 나노리소그래피 기술

한재원 ,  정호원

기계저널

2011 .09

X-ray 리소그래피 기반 비원형 노즐제작과 인공지지체용 화이버의 압출

박성제 ,  김동성

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2017 .10

근육세포거동 제어를 위한 X-ray 리소그래피 기반 계층적 요철구조 표면 제작

박성제 ,  김동성 ,  최이현 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

STEP 기술개발 현황

김인한

한국전자거래학회 학술대회 발표집

2000 .08

MAN 기술개발 현황및 전망

김영탁 ,  이상훈

한국통신학회지(정보와통신)

1992 .09

기술 개발 현황 및 전망

김광수

정보화사회

2005 .01

나노 임프린트 리소그래피를 이용한 광결정화된 투명전극제조에 관한 연구

변경재 ,  황선용 ,  이헌

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01