지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 결과 및 고찰
4. 결론
[참고문헌]
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
플라즈마 공정을 이용한 나노미터 단위의 진공리소그래피
대한전기학회 학술대회 논문집
1998 .07
마이크로 웨이브 플라즈마를 이용한 CO₂ 건식개질의 공정최적화방안
한국에너지기후변화학회 학술대회
2015 .11
플라즈마 공정에서의 열 관리
KOSCO SYMPOSIUM 논문집
2015 .05
3차원 분자동력학법을 이용한 나노 리소그래피 공정의 연구
한국소성가공학회 학술대회 논문집
2002 .10
소프트 리소그래피 기술 동향
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2003 .04
건식 공정 적용 플라즈마 전처리 기술 개발 현황
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2010 .11
플라즈마를 이용한 건식 표면청정화 기술
기계와 재료
2000 .01
이산화탄소 자원화를 위한 플라즈마 건식 개질 기술
한국에너지기후변화학회 학술대회
2016 .05
반도체 공정용 리소그래피 기술의 최근 동향
[ETRI] 전자통신동향분석
1998 .10
플라즈마 공정용 컨버터의 제어
한국조명·전기설비학회 학술대회논문집
2016 .11
액침 홀로그래픽 리소그래피 기술을 이용한 2 차원 나노패터닝
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2006 .12
마이크로 웨이브 플라즈마 연계 건식 개질반응
한국에너지기후변화학회 학술대회
2015 .11
상변화 마스크를 이용한 나노 리소그래피에 관한 연구
한국소성가공학회 학술대회 논문집
2018 .05
고효율 광학 소자를 위한 전자빔 및 나노임프린트 기술
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2009 .06
주파수 선택 구조에 따른 적외선 반사/투과 특성
대한기계학회 춘추학술대회
2011 .11
다중 모세관력 리소그래피를 이용한 단일 이중 구조의 제작
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2009 .06
롤장비 기반의 플라즈모닉 리소그래피 연속공정
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .05
소프트 리소그래피 기술
기계와 재료
2002 .01
The Study on the Change of Surface Characteristics by Plasma Dry Etching
전자공학회지
2020 .02
플라즈모닉 레이저 광 나노리소그래피 기술
기계저널
2011 .09
0