나노미터 크기의 임의 형상을 제작하기 위한 새로운 리소그래피 기술

홍진수 ,  김창교

한국산학기술학회 논문지

2004 .06

나노미터 3차원 형상 측정기술 개발

박희재

대한기계학회 춘추학술대회

2002 .09

플라즈마 공정을 이용한 나노미터 단위의 진공리소그래피

김성오 ,  박복기 ,  박진교 외 5명

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .07

프라즈마 중합과 플라즈마 에칭을 이용한 나노미터 단위의 진공리소그래피

김성오 ,  박복기 ,  김두석 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

정압테이블을 이용한 나노미터 위치결정

박천홍 ,  이찬홍 ,  이후상

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2001 .10

나노미터 크기의 미세구조물을 제작하기 위한 공정기술 개발

이재홍 ,  이병욱 ,  김창교 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2005 .07

T-형 게이트 패턴 형성을 위한 포토마스크 구조 및 리소그래피 공정

박병선 ,  오용호 ,  정해빈 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

나노미터 크기 유막에서의 탄성유체윤활 ( Thin Film Elastohydrodynamic Lubrication of Nanometer Scale )

장시열

Tribology and Lubricants

1998 .03

PMMA 기판 위에 형성된 나노미터크기의 회절격자 패턴의 도광판에의 응용해석

정재훈 ,  김경래 ,  신원진 외 6명

대한전기학회 학술대회 논문집

2007 .11

미해상회절 마스크 광리소그래피를 이용한 T-형 패턴 게이트 형성기술

박병선 ,  오용호 ,  양전욱 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1995 .12

나노미터 크기의 동심원 패턴이 형성된 도광판 전산모사

정재훈 ,  김웅기 ,  김경래 외 6명

대한전기학회 학술대회 논문집

2007 .11

Nanometer-Scale Surface Analysis of Polymers Using Laser Ablation Spectroscopy

김민규

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .07

무산소동 표면의 나노미터단위 초정밀가공

원종호 ,  박상진 ,  오래택 외 4명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1999 .11

나노미터 크기의 첨가제가 윤활 및 마모특성에 미치는 영향에 대한 연구

윤창석 ,  김현준

한국트라이볼로지학회 학술대회

2017 .10

광투과성 향상을 위한 모스아이 패턴 형성 및 태양전지에의 응용

한강수 ,  신주현 ,  이헌

한국재료학회 학술발표대회

2009 .01

최근의 X-ray 리소그래피 기술개발 현황

유형준 ,  황호병 ,  이병철 외 1명

[ETRI] 전자통신동향분석

1990 .09

표면탄성파를 이용한 나노미터 패턴측정 기법 연구

박경수 ,  반준호 ,  최성현

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2017 .04

소프트 리소그래피 기술

신영재 ,  이응숙 ,  정준호

기계와 재료

2002 .01

롤타입 마스크를 이용한 연속 포토리소그래피 기술과 그 응용

곽문규

대한기계학회 논문집 B권

2012 .10

광리소그래피에서 최적 모양의 패턴 구현을 위한 포토마스크 역설계 ( Reverse Design of Photomask for Optimum Fidelity in Optical Lithography )

이재철 ,  오용호 ,  임성우

전자공학회논문지-D

1997 .12