전자빔 리소그래피에서의 근접효과 보정을 이용한 패턴 제작에 관한 연구

오세규 ,  김동환 ,  김승재

반도체및디스플레이장비학회지

2009 .01

전자빔 리소그래피에서의 근접효과 보정

오세규 ,  김승재 ,  정광오 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2009 .05

Characterization of Proximity Correction in 0.1mm Regime X-Ray Lithography

M. Yi ,  E. Seo ,  Y. Seo 외 2명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Correction

Jin Kyu Choi ,  Yong Woo Kim ,  Joo Hwan Koh 외 2명

Macromolecular Research

2008 .06

A New Approach of E-Beam Proximity Effect Correction for High-Resolution Applications

Michal Simecek ,  Anja Rosenbusch ,  Tsuneaki Ohta 외 1명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Proximity Effect Correction by Pattern Modified Stencil Mask in Large Field Projection Electron-Beam Lithography

Hideo Kobinata ,  Hi ,  oshi Yamashita 외 4명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Resolution Enhancement Through a Rule-Free Optical Proximity Correction in Optical Lithography

오용호 ,  이재철 ,  임성우 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Current Status and Future of Electron Beam Lithography

백기호 ,  김영식

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

E-Beam Lithography 기술

손상희 ,  곽계달

전자공학회잡지

1984 .10

A New Simulation Model of Electron Beam Lithography for Manufacturing

함영목 ,  이원규 ,  김수환 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

High-Speed Convolution System for Real-Time Proximity Effect Correction

Susumu Oogi ,  Takiji Ishimu ,  a 외 13명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

전자-빔 Lithography 근접효과에 대한 노출강도 분포의 최적화법 ( Optimization of EID Function for Proximity Effect in Electron Beam Lithography )

손상희 ,  곽계달

전자공학회지

1985 .09

전자 빔 리소그래피를 이용한 나노 소자 제작

박수연 ,  이승우 ,  이재종

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2006 .10

E-beam Lithography ( Equipment )

박선우

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

나노사출성형용 스탬퍼 제작을 위한 Electron beam lithography 패터닝 연구

엄상진 ,  서영호 ,  유영은 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2005 .10

Electron-Beam Lithography를 사용한 Sub-0.1㎛ T-Gate 제작에 관한 연구 ( Sub-0.1㎛ T-Gate Fabrication for Monolithic Microwave Integrated Circuits by Electron-Beam Lithography )

이수용 ,  신두식 ,  오재응 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1993 .01

전자빔을 이용한 중금속이온 (Cr⁺⁶) 의 제거

권기식 ,  이홍승 ,  김병남 외 4명

대한환경공학회 학술발표논문집

1999 .04

Electron-Beam Lithograph를 이용한 Pattern 형성에 관한 연구 ( The Study of Pattern Formation Using Electron-Beam Lithography )

김학 ,  강호영 ,  이중현 외 1명

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

[동력전달계부문] 가속성능 대기조건 보정 방안 연구

신형섭 ,  김현주 ,  장명훈

한국자동차공학회 춘 추계 학술대회 논문집

2001 .11

전자빔 가공장비용 소형 전자빔칼럼개발

강은구 ,  김진석 ,  김한수 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .06