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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 1996.1
- 수록면
- 113 - 113 (1page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (5)
1996
LPCVD 다결정 실리콘 박막의 SSIC (seed selection through ion channeling)공정에 관한 연구
황의훈
,
정세진
,
노재상
한국진공학회 학술발표회초록집
1996.06
학술대회자료
LPCVD법으로 증착된 비정질 실리콘박막의 고상결정화에 미치는 자기이온주입효과
황의훈
,
노재상
한국진공학회 학술발표회초록집
1996.02
학술대회자료
핵생성 계면 제어된 LPCVD 비정질 실리콘 박막의 고상결정화를 이용한 다결정 실리콘 박막 트랜지스터 제조
황의훈
,
정세진
,
노재상
한국재료학회 학술발표대회
1996.01
학술대회자료
핵생성 계면 제어에 의한 LPCVD 비정질 실리콘 박막의 고상 결정화 거동
황의훈
,
노재상
한국재료학회 학술발표대회
1996.01
학술대회자료
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핵생성 계면 제어에 의한 LPCVD 비정질 실리콘 박막의 고상 결정화 거동
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
-
LPCVD법으로 증착된 다층비정질 실리콘박막의 고상결정화
한국재료학회 학술발표대회
1995 .01
-
LPCVD 다결정 실리콘 박막의 성장 및 다결정 실리콘 박막 트랜지스터에의 응용
대한전자공학회 학술대회
1994 .01
-
증착속도에 따른 LPCVD 비정질실리콘 박막의 고상결정화거동
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
-
LPCVD 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 수소화 효과에 관한 연구
전기학회논문지
1994 .12
-
주입가스 차단을 이용하여 불연속 증착방법에 의해 제조된 LPCVD 비정질 실리콘 박막의 고상 결정화
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
-
Si₂B₆를 이용한 LPCVD실리콘 박막의 결정 성장 및 구조적 성질에 관한 연구
전기학회논문지
1991 .07
-
LPCVD 비정질실리콘 박막의 고상결정화에 미치는 기판의 영향 ( The Effects of the Substrates on the Solid Phase Crystallization in LPCVD Amorphouse Silicon Films )
전자공학회논문지-A
1992 .06
-
LPCVD법으로 제작한 비정질 실리콘과 다결정 실리콘의 구조 및 전기적 특성
대한전자공학회 학술대회
1985 .06
-
LPCVD 법으로 제작한 비정질 실리콘과 다결정 실리콘의 구조 및 전기적 특성 ( The Structural and Electrical Properties of LPCVD Amorphous and Polycrystalline Silicon Film )
대한전자공학회 학술대회
1985 .01
-
저온제작 LPCVD 다결정 실리콘 박막트랜지스터의 전기적 특성 ( The Electrical Characteristics of LPCVD Poly Silicon Thin Film Transistors Fabricated at Low Temperature )
전자공학회논문지-A
1992 .06
-
마이크로파를 이용한 LPCVD a-Si의 저온 결정화 및 TFT에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
-
LPCVD-Si3N4 박막의 열 산화 ( Thermal Oxidation of Thin LPCVD-Si3N4 Film )
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
-
LPCVD 방법에 의한 고신뢰성 다결정 실리콘박막의 증착 ( High Reliable Polysilicon Film Deposited by LPCVD )
대한전자공학회 학술대회
1987 .11
-
LPCVD 다결정 실리콘 막 성질이 박막트랜지스터의 전기적 특성에 미치는 영향
한국재료학회 학술발표대회
1993 .01
-
A Novel Method of Solid Phase Crystallization of LPCVD Amorphous Si Films by Nucleation Interface Control
대한전자공학회 학술대회
1997 .01
-
새로운 구조의 금속 유도 측면 결정화에 의한 다결정 실리콘 박막 트랜지스터 제작에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
-
표면 활성화 처리에 따른 비정질 실리콘 박막의 고상 결정화
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
-
$AlCl_3$와 $NiCl_2$ 화합물 분위기를 이용한 LPCVD 비정질 실리콘 박막의 고상결정화
한국재료학회 학술발표대회
2003 .01
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엑시머 레이저를 이용하여 결정화한 PECVD 및 LPCVD 비정질 실리콘 박막의 특성 분석 ( Characterization of PECVD and LPCVD a-Si Films Crystallized by Excimer Laser )
전자공학회논문지-A
1996 .06
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