Pulsed ECR PECVD를 이용한 $SiO_x$ 박막의 성장 및 특성분석

이주현 ,  정일채 ,  채상훈 외 2명

한국재료학회지

2000 .01

ECR 플라즈마에 의해 형성된 실리콘 질화막의 전기적 특성 ( Electrical Properties of Silicon Nitride Thin Films Formed by ECR Plasma )

구본영 ,  전유찬 ,  주승기

전자공학회논문지-A

1992 .10

ECR 플라즈마를 이용한 실리콘질화박막 증착

송선규 ,  장홍영

한국표면공학회지

1990 .12

ECR CVD 방법에 의한 Fluorinated Silicon Oxide의 증착특성 연구

장원익 ,  강승열 ,  백종태

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

ECR 산소 플라즈마를 이용한 저온 열산화 ( Low Temperature Thermal Oxidation using ECR Oxygen Plasma )

이정열 ,  강석원 ,  이진우 외 2명

전자공학회논문지-A

1995 .03

Blue / Green Photoluminescences From Silicon-Rich Oxide Layer Deposited By ECR-Plasma

M. H. An ,  K. Kim ,  T. S. Kim 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

Compact ECR plasma 장치의 제작 및 특성 연구 ( Study on the Fabrication and Characterization of Compact ECR Plasma System )

윤민희 ,  박원일 ,  남기석 외 1명

전자공학회논문지-A

1994 .04

ECR 플라즈마 방법에 SiO₂ 박막 제조에 관한 연구

이현 ,  강문상 ,  구용서 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

ECR 플라즈마 방법에 의한 SiO2 박막 제조에 관한 연구 ( A Study on the Fabrication of SiO2 Films by ECR Plasma Method )

이현 ,  강문상 ,  구용서 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

ECR의 원리를 이용한 플라즈마 가열장치에 대한 연구

김원섭

대한전기학회 학술대회 논문집

2002 .07

Thermal property of ultrathin polymer films

시윤기 ,  차준희 ,  장태현

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1999 .04

ECR 상온증착법에 의한 구리 금속막 코팅

고형덕 ,  변동진 ,  이중기 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

이온 분석기에 의한 ECR플라즈마의 특성 분석 및 실리콘 식각에 관한 연구

李晳賢 ,  李昈駿 ,  黃琪雄

전기학회논문지

1992 .05

Two Layer Gate Insulator with ECR Plasma Thermal Oxide / LPCVD Oxide for High Performance Polysilicon Thin Film Transistor

Jung Yeal Lee ,  Sung Hun Lee ,  Chul Hi Han 외 1명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1993 .01

ECR 플라즈마를 이용한 Cu 박막의 건식 식각특성에 관한 연구

이성권 ,  이원종 ,  천성순

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

ECR 플라즈마 CVD 방법을 이용한 수소화된 비정질 실리콘 박막의 증착과 광학적 특성

김용일 ,  이진엽 ,  강문상 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1995 .06

ECR PLASMAS FOR ULSI FABRICATION

Young Hoon Lee

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01