불순물 농도에 따라 산화막 성장률의 차이를 이용한 자기 정렬된 금속 게이트 CMOS 구조 ( A Self-Aligned Metal Gate COMS Structure Utilizing The Oxidation Rate Variation on The Impurity Concentration )

최진호; 고요환; 김충기

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 최진호 고요환 김충기

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 학술발표회 논문집 (반도체/재료부품/CAD/VLSI) 제6권 1호

발행연도: 1988.1

수록면: 71 - 74 (4page)

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