패턴된 기판에 금속 배선 형성

김남석 ,  강탁 ,  남승우 외 1명

한국표면공학회지

1995 .10

Metallization

최성현

대한전자공학회 단기강좌

1982 .01

구리 및 은 금속 배선을 위한 전기화학적 공정

권오중 ,  조성기 ,  김재정

화학공학

2009 .01

PECVD산화막을 이용한 삼층금속배선공정에 관한 연구 ( The Study on the Triple-Level metallization process Using PECVD Oxide )

백종태 ,  허성익 ,  박영준 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .07

박막 트랜지스터용 절연막 합성 및 특성연구

이진호 ,  김홍두 ,  유어단

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2010 .10

CaAs 공정중 금속막 형성기술 연구 ( Metallization Technology in GaAs Process )

이재신 ,  박철순 ,  양전욱 외 5명

한국통신학회 학술대회논문집

1989 .01

금속배선의 신뢰성을 monitoring하는 새로운 기술

박종호 ,  안병태

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

고온 공정에서 Ta2O5 절연막의 TiN의 반응성 조사

백용구 ,  은용석 ,  박영진 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

TFT Array용 Negative형 유기 절연막 코팅액의 제조 및 공정 특성

권혁용 ,  이윤수 ,  문봉석 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2008 .04

새로운 플라즈마 식각 방법에 의한 금속배선 재료인 구리의 패턴 형성에 대한 연구

김유창 ,  박성언 ,  양혁수 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

플라즈마 산화막을 이용한 이중 금속 배선 공정 ( Double-layer Metal Process using Plasma-Oxide )

김흥식 ,  오상식 ,  이진효 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1982 .01

Sputtering과 Metallization

김민선 ,  윤능구

섬유기술과 산업

2009 .01

유 무기 복합막을 이용한 박막 트랜지스터 절연막의 특성 연구

이진호 ,  황진아 ,  김홍두

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2010 .04

절연막을 평탄층으로 이용한 금속선 형성 공정 연구 ( A Study on Metal Line Deposition Process by Using Dielectric Film as a Planarizing Layer )

최영규 ,  조낙희 ,  조경익 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1992 .01

GaAs 공정중 금속막 형성기술 연구 ( Metallization Technology in GaAs Process )

이재신 ,  박철순 ,  양전욱 외 5명

특정연구 결과 발표회 논문집

1989 .01

집적회로 금속 배선에서의 전기적 이동 현상 시뮬레이션에 관한 연구 ( A study on the Simulation of Electronigration in Metallization of Integrated Circuits )

오민석 ,  조순철

대한전자공학회 학술대회

1990 .07

New process for the Magnesium Metallization

And ,  eas Dietz

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06