Laser CVD 법에 의한 평탄화 충간 절연막 형성에 관한 연구

이계신 ,  박근영 ,  이한신 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .07

층간절연막으로서 저유전박막 폴리이미드와 금속의 전기적 특성

이문근 ,  이곤재 ,  최덕균

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1998 .11

표면 처리한 SiO₂를 게이트 절연막으로 하는 박막 트랜지스터의 특성 연구

이재혁 ,  이용수 ,  박재훈 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2000 .11

고온 공정에서 Ta2O5 절연막의 TiN의 반응성 조사

백용구 ,  은용석 ,  박영진 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

고밀도 플라즈마를 이용한 절연막 식각

김유창 ,  정진기 ,  설여송 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

박막 트랜지스터용 절연막 합성 및 특성연구

이진호 ,  김홍두 ,  유어단

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2010 .10

Metal Alkoxides를 이용한 유기 박막 트랜지스터 절연막의 특성 연구

문지수 ,  김홍두

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2009 .04

ALD법으로 증착된 실리콘 절연박막의 물리적.전기적 특성

한창희 ,  이주현 ,  김운중 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

TFT Array용 Negative형 유기 절연막 코팅액의 제조 및 공정 특성

권혁용 ,  이윤수 ,  문봉석 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2008 .04

유 무기 복합막을 이용한 박막 트랜지스터 절연막의 특성 연구

이진호 ,  황진아 ,  김홍두

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2010 .04

화학기계적폴리싱(CMP)에 의한 층간절연막의 광역평탄화에 관한 연구

정해도

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

1996 .11

멀티코팅을 이용한 용액 공정 산화 알루미늄 게이트 절연막 분석 및 최적화

송승민 ,  이정수 ,  강동원 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2012 .07

층간절연막적용을 위한 Polyimide의 화학기계적 평탄화 공정

김형균 ,  이정용 ,  이상호 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

A Study on Selective Area Deposition of Insulating Films by Laser CVD Method

成英權 ,  許允宗 ,  金鍾寬 외 2명

전기학회논문지

1993 .09

'89 Symposium on VLSI Technology에서의 절연막 분야 기술분석

노태문 ,  조덕호 ,  이경수 외 1명

[ETRI] 전자통신동향분석

1989 .09

금속박막증착 ( Metal thin film deposition ) 시 두께 조절

장지근

대한전자공학회 심포지엄 논문집

1978 .01

Roll-to-roll Welding Process for Planarized Silver Nanowire Electrodes

이성준 ,  조정호 ,  이기라 외 4명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2014 .04

TSV에서의 절연막에 따른 누설전류의 측정

서승호 ,  이원준 ,  황욱중

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2010 .05