Synthesis and Application of Novel Photoacid Generator Bounding Polymer Resist for Electron Beam Lithography

강하나 ,  이해원 ,  권오정 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2012 .04

Synthesis of Photoacid Generator Bound Polymer Resist for Atomic Force Microscope Lithography

이고은 ,  아쇽나뉴사가 ,  김민정 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2009 .10

Synthesis of Photoacid Generator Based Polymers And Its Application to AFM Lithography

오희영 ,  윤현진 ,  이해원 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2004 .10

Photoacid Generator Bound PMMA-Based Resist for nanostructure Fabrication

이해원 ,  김민정 ,  손경화 외 1명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2011 .04

Novel Chemically Amplified Resists for Electron Beam Lithography

이해원 ,  이석규

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1992 .10

Synthesis of Novel Chemically Amplified Photoacid Generator Containing Resist Polymer for Fabrication of Positivetone Nanostructure

김민정 ,  손경화 ,  권오정 외 3명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2011 .04

Current Status and Future of Electron Beam Lithography

백기호 ,  김영식

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Application of New Empirical Model to the Electron Beam Lithography Process with Chemically Amplified Resists

Young Mog Ham ,  Cheol Hu ,  Chang Nam Ahn 외 4명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

E-Beam Lithography 기술

손상희 ,  곽계달

전자공학회잡지

1984 .10

A New Simulation Model of Electron Beam Lithography for Manufacturing

함영목 ,  이원규 ,  김수환 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

New photoacid generator for PSLD

최상열 ,  원종찬 ,  진문영 외 3명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2000 .04

Characteristics of Electron Beam Extraction in Large Area Electron Beam Generator

Sung-Hun Woo ,  Hong-Sik Lee

KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications

2004 .02

Resist 표면 거칠기 예측을 위한 전자빔 리소그라피 시뮬레이션에 관한 연구

김학 ,  한창호 ,  이기용 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2002 .06

E-beam Lithography ( Equipment )

박선우

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

Simulation and Edge Profiles of Chemically Amplified Resists with Highly Contrast in the Deep Submicron Range by using the Electron Beam lithography

Young Mog Ham ,  Chang Buhm Lee ,  Soo Hwan Kim 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Electron-Beam Lithography를 사용한 Sub-0.1㎛ T-Gate 제작에 관한 연구 ( Sub-0.1㎛ T-Gate Fabrication for Monolithic Microwave Integrated Circuits by Electron-Beam Lithography )

이수용 ,  신두식 ,  오재응 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1993 .01

나노사출성형용 스탬퍼 제작을 위한 Electron beam lithography 패터닝 연구

엄상진 ,  서영호 ,  유영은 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2005 .10

전자빔 리소그래피에서의 근접효과 보정

오세규 ,  김승재 ,  정광오 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2009 .05

전자빔을 이용한 중금속이온 (Cr⁺⁶) 의 제거

권기식 ,  이홍승 ,  김병남 외 4명

대한환경공학회 학술발표논문집

1999 .04

Electron-Beam Lithograph를 이용한 Pattern 형성에 관한 연구 ( The Study of Pattern Formation Using Electron-Beam Lithography )

김학 ,  강호영 ,  이중현 외 1명

대한전자공학회 워크샵

1991 .01