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포토레지스트의 동향과 전망
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2002 .10
차세대 반도체용 ArF 포토레지스트 개발 : 성공 사례 보고
한국산학기술학회 학술대회논문집
2003 .06
반도체 초미세 공정화와 F2(157 nm) 포토레지스트용 고분자의 개발 동향
고분자 과학과 기술
2003 .02
Black matrix용 포토레지스트의 제조에 관한 연구
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2010 .10
광개시제 종류에 의한 I-line용 포토레지스트 미세 패턴 특성 구현
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2019 .10
반도체 산업 기술 및 포토레지스트의 기술 동향
고분자 과학과 기술
2005 .02
포토레지스트 공급용 미소유량계 개발
한국생산제조학회지
2007 .10
폴리머의 O₂ 플라즈마 에칭을 위한 포토레지스트의 실릴화 특성 연구
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2002 .04
단층 RESIST의 미세패턴 형성 기술 ( Submicron Technology of Single Layer Photo-Resist )
대한전자공학회 학술대회
1988 .07
포토레지스트 공급용 미소유량계 개발
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2006 .11
산소 플라즈마를 이용한 Photo Resist 제거 ( Photo Resist Stripping by Oxygen Plasma )
대한전자공학회 학술대회
1985 .01
고집적 반도체 미세 가공용 레지스트
고분자 과학과 기술
1990 .11
고집적 반도체 미세가공용 레지스트
전자공학회잡지
1984 .10
Study of Positive-tone High Temperature Photo-resist
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2014 .10
Feed Back 제어를 이용한 감광액 공급용 정량제어 펌프 시스템 개발
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2007 .10
수용성 포토레지스트의 합성과 감광 특성
한국섬유공학회 학술발표논문집
1995 .01
T-형 패턴형성을 위한 포토레지스트 특성
한국재료학회 학술발표대회
1994 .01
Photo resist for sequential photo patterning and thermo cure
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2010 .04
반도체에 관하여
전자공학회지
1965 .07
Photo Resist Coating 시 발생하는 Void 불량 형성 매커니즘
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2014 .05
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