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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2007 추계학술대회 논문집
발행연도
2007.10
수록면
119 - 124 (6page)

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This study was carried out to develope a flow control system using to supply PR(photo-resist) in the semi-conductor manufacturing process. The features of this system are to be able to measure the high viscosity and micro-flow. To meet above study object some ideas was induced to design a new concept valve with new material, multi-cross wheel, and new sealing method etc..
As the evaluations on the developed micro-flowmeter it was enough satisfied to use at the IT industries such as photo-resist process.
#viscosity(점도) #PR(포토레지스트) #Feed-backr(귀환) #Pump(펌프) #semiconductor(반도체)

목차

Abstract
1. 서론
2. 펌프 설계 및 제작
3. 실험조건 및 장치
4. 실험결과 및 고찰
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