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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2007.10
- 수록면
- 198 - 204 (7page)
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This study was carried out to develope a flow control system using to supply PR(photo-resist) in the semi-conductor manufacturing process. The features of this system are to be able to measure the high viscosity and micro-flow. To meet above study object some ideas was induced to design a new concept valve with new material, multi-cross wheel, and new sealing method etc..
As the evaluations on the developed micro-flowmeter it was enough satisfied to use at the IT industries such as photo-resist process.
As the evaluations on the developed micro-flowmeter it was enough satisfied to use at the IT industries such as photo-resist process.
목차
Abstract
1. 서론
2. 유량계 설계 및 제작
3. 실험조건 및 장치
4. 실험결과 및 고찰
5. 결론
후기
참고문헌
참고문헌 (8)
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1. [기타자료] - TMS KOREA CO., LTD / / Technical laboratory technical data
2. [기타자료] - Japanese instrument industry union / / Flow Measuring A to Z
3. [기타자료] - SANG-A FLONTEL CO., LTD / / Technical laboratory technical data
4. [학술지(정기간행물)] - Kim, D. T. / 2000 / An Investigation into the Dynamic Characteristics of Turbine and Gear Motor Type Flowmeter / Trans. of KSMTE 9 (3) : 83 ~ 89
5. [학술지(정기간행물)] - 장성철 / 2003 / 평행평판 간극에서 전기장의 강도변화에 따른분산계 ER유체의 유량-압력강하 특성 / 한국생산제조시스템학회지 12 (1) : 78 ~ 83
2. [기타자료] - Japanese instrument industry union / / Flow Measuring A to Z
3. [기타자료] - SANG-A FLONTEL CO., LTD / / Technical laboratory technical data
4. [학술지(정기간행물)] - Kim, D. T. / 2000 / An Investigation into the Dynamic Characteristics of Turbine and Gear Motor Type Flowmeter / Trans. of KSMTE 9 (3) : 83 ~ 89
5. [학술지(정기간행물)] - 장성철 / 2003 / 평행평판 간극에서 전기장의 강도변화에 따른분산계 ER유체의 유량-압력강하 특성 / 한국생산제조시스템학회지 12 (1) : 78 ~ 83
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