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한국기계가공학회 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 한국기계가공학회 2006년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2006.11
수록면
57 - 63 (7page)

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2007

포토레지스트 공급용 미소유량계 개발
김신호 ,  정선환 ,  최성대 한국생산제조학회지 2007.10 학술저널

2006

포토레지스트 공급용 미소유량계 개발
김신호 ,  정선환 ,  최성대 외 1명 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 2006.11 학술대회자료

초록· 키워드

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This study involves the development of a flow control system to be used to supply photo-resist in the semi-conductor manufacturing process, this system features the measurement of high viscosity and micro flow. Flowmeter which measures high viscosity together with micro flow had not been fully developed until now. Thus this paper aims to achieve this objective likewise, optimum condition in the present PR-process will also be determined.
#Teflon(테프론) #PR(Photo-resist:포토레지스트) #Micro-flowmeter(미소유량계) #Ceramic(세라믹) #Controller(컨트롤러)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 반도체 기본프로세서의 이론
3. 유량계 설계 및 제작
4. 유량계 측정시험
5. 결론
참고문헌

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